[发明专利]一种用于质谱仪分析的反应气供应装置

权利要求书

1.一种用于质谱仪分析的反应气供应装置，其特征在于：该装置包括六角形气瓶安全柜、6位气体输入端和6进2出式多连体电磁阀；所述六角形气瓶安全柜包含6个存放气体的钢瓶，分别和6位气体输入端的6个管路相连接；所述6位气体输入端中6个管路结构相同，均包括依次连接的气源、第一压力控制器、质量流量计、第二压力控制器和单向控制阀，6位气体输入端中的6个单向控制阀分别连接至6进2出式多连体电磁阀的6个输入端，6进2出式多连体电磁阀的两个输出端和质谱仪的碰撞/反应池连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪分析的反应气供应装置，其特征在于：所述六角形气瓶安全柜其内部设置6个钢瓶存放位置，均匀分布在等边六角形的边部中心；每个位置的空间尺寸为直径×高度＝250mm×1600mm；安全柜底端设置有6个万向轮，总承重能力大于500kg。

3.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪分析的反应气供应装置，其特征在于：所述6位气体输入端中的6个管路相互独立，互不影响，且6位气体输入端每一位可独立控制。

4.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪分析的反应气供应装置，其特征在于：所述第一压力控制器、质量流量计、第二压力控制器、6进2出式多连体电磁阀均和自动控制系统连接，使得反应气的切换、质谱仪数据采集协调进行，实时显示输入气体的种类、压力、流量值以及电磁阀门输入/输出端的开/关状态。

5.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪分析的反应气供应装置，其特征在于：所述反应气供应装置可多台并联使用和控制，满足6种以上高纯气体的供应需求。