[发明专利]一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔

说明书

本发明提供了一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，包括设置在第一冷凝层内的混合箱，第一冷凝层等间距的固定有五个支撑板，支撑板的上端均固定在搅拌机构下面，搅拌机构通过第十二连接管连通有第一抽气泵；第一抽气泵通过第三连接管连通有冷凝机构，冷凝机构的下端固定有防尘机构，冷凝机构的一侧还连通有精馏机构；精馏机构的一侧通过第十连接管的连通有钢瓶，钢瓶的底端连接在导轨上。本发明能实现气体的快速反应，使得气体从始至终均处在相对适宜的温度下，减小了危险性，而且冷凝器能维持良好的输送环境，可以根据现存气体的沸点进行合理的调节，从而达到将需要的气体从设备中提取出来。

技术领域

本发明属于低温精馏塔技术领域，具体涉及一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔。

背景技术

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，近年来，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。

一氟甲烷(CH3F)是一种绿色、高效的电子特气，用于半导体及电子产品的刻蚀，对硅化物薄膜的刻蚀选择性好，现存的设备中以颗粒状活性炭为催化剂，一氯甲烷和氟化氢的反应缓慢，需要等待一段时间，造成了时间成本的浪费，一氟甲烷是无色易燃气体，由于受热会造成严重的后果，严重者甚至发生爆炸，因此对于设备的降温是至关重要的，目前市场上仅针对在进行精馏时的降温是不全面的，在进行冷热器置换的过程中，容易在散热装备上存积大量的灰尘从而降低设备的冷却效果，由于冷凝器的体积大，清理起来不方便，从而降低工作效率，得到的产物甲烷、一氟甲烷、一氯甲烷、氟化氢以及氯化氢气体在进入精馏塔内时会将温度调节到需要的温度下，而不同气体所需要的沸点是不一样的，现存设备沸点高低的转变不易掌控，为此，我们提出了一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔用精馏脱水设备来解决上述问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，包括设置在第一冷凝层内的混合箱，所述第一冷凝层等间距的固定有五个支撑板，所述支撑板的上端均固定在搅拌机构下面，所述搅拌机构通过第十二连接管连通有第一抽气泵；

所述第一抽气泵通过第三连接管连通有冷凝机构，所述冷凝机构的下端固定有防尘机构，所述冷凝机构的一侧还连通有精馏机构；

所述精馏机构的一侧通过第十连接管的连通有钢瓶，所述钢瓶的底端连接在导轨上。

进一步的，所述第一冷凝层的一侧通过第六连接管连通在第二冷凝器上，所述第二冷凝器的一侧通过第七连接管连通有第二抽气泵，所述第二抽气泵的一侧连接有第九连接管，所述第九连接管的一侧贯穿第二冷凝层并延伸至第二冷凝层内，所述第九连接管的延伸端连接有螺旋式冷凝管；

所述螺旋式冷凝管的下端连接有第八连接管，所述第八连接管贯穿第二冷凝层并延伸至第二冷凝层外，所述第八连接管的外侧连接在第二冷凝器上；

所述第二抽气泵的另一侧连接有第四连接管，所述第四连接管的一侧分别连接有第一冷凝层上。

进一步的，所述防尘机构包括固定在第二抽气泵下端的防尘箱，所述防尘箱的两侧均设有开口，所述防尘箱的中部固定有防尘板，所述防尘箱的一端侧壁上还设有多个通风孔。

进一步的，所述搅拌机构包括固定在混合箱上端的第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴末端连接有第一连接轴，所述第一连接轴的一侧贯穿第一冷凝层和混合箱并延伸至混合箱内，所述第一连接轴上等间距固定有四个方型搅拌块。

进一步的，所述第一冷凝层的外侧还固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴末端连接有第二连接轴，所述第二连接轴的一侧贯穿第一冷凝层和混合箱并延伸至混合箱内，所述第二连接轴的一侧等间距固定有多个扇型搅拌块。