[发明专利]一种激光光束优化装置及激光器在审
| 申请号: | 202111278283.2 | 申请日: | 2021-10-30 |
| 公开(公告)号: | CN114094431A | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
| 发明(设计)人: | 陈鲁;丁闯;方一;黄有为;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01S3/109 | 分类号: | H01S3/109;H01S3/137 |
| 代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 刘志海;彭家恩 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 激光 光束 优化 装置 激光器 | ||
1.一种激光光束优化装置,其特征在于,包括:
变频模块,用于接收基频光,并将所述基频光变频转换为倍频光输出,所述变频模块能够可控地在预设平面坐标系中移动,以切换所述变频模块用以接收基频光的工作点位;
第一检测模块,用于接收所述变频模块输出的至少部分倍频光,以获取所述倍频光的第一指标信息;以及
温控模块,与所述变频模块连接,所述温控模块用于在第一指标信息未达到第一预设要求时,能够可控地调节所述变频模块的温度,以优化所述变频模块的变频转换性能。
2.如权利要求1所述的激光光束优化装置,其特征在于,所述第一指标信息包括倍频光的质量信息和功率信息,所述第一预设要求包括预设质量要求和预设功率要求;所述变频模块用于:
在倍频光的质量信息未达到预设质量要求和/或功率信息未达到预设功率要求时,能够可控地在预设周期内调节所述变频模块的温度,直至所述倍频光的质量信息达到预设质量要求且功率信息达到预设功率要求。
3.如权利要求2所述的激光光束优化装置,其特征在于,所述变频模块用于:在预设周期后,若所述倍频光的质量信息未达到预设质量要求和/或功率信息未达到预设功率要求,能够可控地由当前工作点位切换至下一工作点位。
4.如权利要求2所述的激光光束优化装置,其特征在于,还包括第一光路模块,布置在所述变频模块的倍频光端侧,所述第一光路模块能够将倍频光的至少一部分反射,以形成沿第一路径输出的第一激光和沿第二路径输出的第二激光;所述第一检测模块包括:
第一质量检测件,用于接收所述第一激光,以获取所述倍频光的质量信息,所述第一质量检测件布置在第一路径;以及
第一功率检测件,用于接收所述第二激光,以获取所述倍频光的功率信息,所述第一功率检测件布置在第二路径。
5.如权利要求4所述的激光光束优化装置,其特征在于,所述第一光路模块包括第一楔形镜,固定设置在所述变频模块的倍频光输出端侧;所述第一楔形镜用于反射倍频光的一部分,以输出所述第一激光和第二激光;所述第一楔形镜还用于透射倍频光的另一部分,以形成沿第三路径输出的第三激光。
6.如权利要求1所述的激光光束优化装置,其特征在于,还包括:
第二光路模块,布置在所述变频模块的倍频光输出端,所述第二光路模块用于反射变频模块输出光束中的倍频光,以形成沿第四路径输出的第四激光;所述第二光路模块还用于透射变频模块输出光束中的基频光,以形成沿第五路径输出的第五激光;以及
第一激光收集模块,固定设置在所述第五路径,所述第一激光收集模块用于收集第五激光。
7.如权利要求1所述的激光光束优化装置,其特征在于,所述变频模块包括:
变频晶体,用于接收所述基频光,并将所述基频光变频转换为倍频光输出;
换点机构,能够可控地驱使所述变频晶体在预设平面坐标系中移动,所述变频晶体设置在换点机构;以及
调温件,设置在所述变频晶体的外部,所述调温件与温控模块连接,用于受所述温控模块的控制而加热或冷却变频晶体。
8.如权利要求7所述的激光光束优化装置,其特征在于,所述变频晶体具有相对的第一端和第二端,所述变频模块还包括:
反光件,布置在所述变频晶体的第一端侧,所述反光件用于反射由变频晶体的第一端输出的基频光和倍频光,以使所述基频光和倍频光再次入射变频晶体,从而实现将所述基频光最大化地转换为倍频光;以及
分光件,布置在所述变频晶体的第二端侧,所述分光件用于透射基频光,以使所述基频光由变频晶体的第二端入射;所述分光件还用于反射由变频晶体的第二端输出的倍频光,以使所述倍频光的至少一部分被第一检测模块接收。
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