[发明专利]一种镜片六自由度微动平台

权利要求书

1.一种镜片六自由度微动平台，其特征在于：包括镜片(1)、XYθ_Z微动调节机构(2)和Zθ_Xθ_Y微动调节机构(3)，XYθ_Z微动调节机构(2)包含一柔性铰链机构(7)，X向驱动电机(8.1)、Y向驱动电机(8.2)和θ_Z向驱动电机(8.3)，X向驱动电机(8.1)、Y向驱动电机(8.2)正交布置并指向镜片中心轴，θ_Z向驱动电机(8.3)相对镜片中心轴偏心布置；X向复位弹簧(11.1)与X向驱动电机(8.1)相对布置，Y向复位弹簧(11.2)与Y向驱动电机(8.2)相对布置，θ_Z向复位弹簧(11.3)与θ_Z向驱动电机(8.3)相对布置，Zθ_Xθ_Y微动调节机构(3)中包含沿圆周均布的三个Z向调节机构(13.1、13.2、13.3)、上动板(6)、镜筒(12)，通过柔性铰链机构(7)与上动板(6)螺栓连接实现XYθ_Z微动调节机构(2)、Zθ_Xθ_Y微动调节机构(3)的连接，三个Z向调节机构(13.1、13.2、13.3)通过螺栓连接安装于镜筒(12)上，上动板(6)通过螺栓与三个Z向调节机构(13.1、13.2、13.3)连接，通过X向驱动电机(8.1)驱动柔性铰链机构(7)实现镜片(1)X方向单向调节，通过Y向驱动电机(8.2)驱动柔性铰链机构(7)实现镜片(1)Y方向单向调节，通过X向驱动电机(8.1)、Y向驱动电机(8.2)、θ_Z向驱动电机(8.3)差动驱动柔性铰链机构(7)实现镜片(1)θ_Z方向单向调节，通过同步驱动三个Z向调节机构(13.1、13.2、13.3)实现镜片(1)Z方向单向调节，通过差动驱动三个Z向调节机构(13.1、13.2、13.3)分别实现镜片(1)θ_X、θ_Y方向单向调节。

2.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度微动平台，其特征在于：所述镜片(1)设有三个周向均布的镜片安装凸台(4.1、4.2、4.3)，分别连接在三个完全相同的弹性支撑(5.1、5.2、5.3)上。

3.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度微动平台，其特征在于：所述XYθ_Z微动调节机构(2)的镜片三自由度姿态调节仅通过一个柔性铰链机构(7)结构的弹性变形实现，控制X向驱动电机(8.1)、Y向驱动电机(8.2)和θ_Z向驱动电机(8.3)驱动柔性铰链机构(7)的不同位置实现三自由度运动。

4.根据权利要求3所述的一种镜片六自由度微动平台，其特征在于：所述的XYθ_Z微动调节机构中所述柔性铰链机构(7)采用弹性材料，通过弹性变形实现XYθ_Z三自由度调节。

5.根据权利要求3所述的一种镜片六自由度微动平台，其特征在于：XYθ_Z微动调节机构(2)三个自由度的复位依靠复位装置实现，X向复位弹簧(11.1)与X向驱动电机(8.1)相对布置，Y向复位弹簧(11.2)与Y向驱动电机(8.2)相对布置，θ_Z向复位弹簧(11.3)与θ_Z向驱动电机(8.3)相对布置；X向驱动电机(8.1)、Y向驱动电机(8.2)、θ_Z向驱动电机(8.3)分别与X球头顶杆(10.1)、Y球头顶杆(10.2)、θ_Z向球头顶杆(10.3)螺纹连接。