[发明专利]有机聚合物材料的改性方法和改性有机聚合物材料

权利要求书

1.一种有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将所述有机聚合物材料置于原子层沉积反应室；

2)利用载气通入前驱体1，第一次封闭所述原子层沉积反应室，第一次封闭时间为180s-600s，通入惰性气体吹扫清洗；所述前驱体1选自三甲基铝、二乙基锌、四氯化钛、四氢化硅、二茂镁、三氯化铝、双(二乙基胺基)硅烷、三(二甲胺基)硅烷、四氯化硅、Mn(EtCp)₂或Mn(thd)₃；

3)再通入前驱体2，第二次封闭所述原子层沉积反应室，第二次封闭时间为180s-600s；所述前驱体2选自氨气等离子体或氮气和氢气的混合等离子体。

2.根据权利要求1所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，通入所述前驱体1时，所述原子层沉积反应室的温度为25℃～200℃，通入所述前驱体1的脉冲时间为0.1s～60s，载气流量为50sccm～150sccm。

3.根据权利要求2所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，通入所述前驱体1后，所述原子层沉积反应室的真空度为100Pa-150Pa。

4.根据权利要求1所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，通入所述前驱体2时，所述原子层沉积反应室的温度为25℃～200℃，通入所述前驱体2的脉冲时间为0.1s～60s。

5.根据权利要求4所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，通入所述前驱体2后，所述原子层沉积反应室的真空度为200Pa～500Pa。

6.根据权利要求1-5任一项所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，所述有机聚合物材料选自聚氯乙烯，聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙烯，ABS改性聚苯乙烯，聚碳酸酯，聚酰胺，聚甲基丙烯酸甲脂，聚甲醛，聚对苯二甲酸乙二醇酯，聚对苯二甲酸丁二醇酯，聚二甲基硅氧烷，聚萘二甲酸乙二醇酯，聚苯硫醚，聚醚醚酮，聚砜，聚酰亚胺，聚芳酯和液晶聚合物中的一种或几种。

7.根据权利要求1-5任一项所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，在将所述有机聚合物材料置于原子层沉积反应室之前，还包括对所述有机聚合物材料进行清洗的步骤。

8.根据权利要求1-5任一项所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，所述第二次封闭时间结束后，还包括通入惰性气体吹扫清洗，重复步骤2)和步骤3)的步骤。

9.根据权利要求1-5任一项所述的有机聚合物材料的改性方法，其特征在于，所述载气选自He，Ne，Ar或Kr；及/或

所述惰性气体选自He，Ne，Ar或Kr。

10.一种改性有机聚合物材料，其特征在于，由权利要求1-9任一项所述的改性方法制备而成。