[发明专利]一种玻璃多曲面壳体结构及其制备方法

权利要求书

1.一种玻璃多曲面壳体结构，其特征在于，包括位于中心的三维主壳，至少一个三维主壳外侧的副环壳，三维主壳与副环壳之间的连接部分；

所述三维主壳与副环壳之间的连接部分用来连接三维主壳和副环壳；

所述三维主壳内部安装有位于中心轴处的支撑杆。

2.根据权利要求1所述的玻璃多曲面壳体结构，其特征在于，所述三维主壳的形貌为半球壳或类半球壳或球壳；所述副环壳的形貌为半环壳或类半环壳。

3.根据权利要求1所述的玻璃多曲面壳体结构，其特征在于，所述最外围的副环壳有缘边。

4.根据权利要求1所述的玻璃多曲面壳体结构，其特征在于，所述副环壳与副环壳之间的连接部分底部与支撑杆底部、三维主壳与副环壳之间的连接部分底部齐平。

5.根据权利要求1所述的玻璃多曲面壳体结构，其特征在于，所述多曲面壳体结构的材质为玻璃态物质。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种玻璃多曲面壳体结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、在衬底晶圆上加工出多个同心圆柱环腔室；靠中心最近的圆柱环腔室为主圆柱环腔室，往外依次是副圆柱环腔室；

步骤二、在主圆柱环腔室中加入释气剂，在副圆柱环腔室中加入释气剂；

步骤三、将结构玻璃晶圆与衬底晶圆通过键合实现多个同心圆柱环腔室密封；

步骤四、将上述键合后的晶圆加热，升温至结构玻璃晶圆的软化点温度；此时，高温下释气剂分解产生气体，气体驱动软化后的玻璃形变，形成三维多曲面壳体结构，保温一段时间后，快速冷却，软化玻璃粘度增大，无法发生形变，形成了稳定的三维多曲面壳体结构；

步骤五、加工去除衬底晶圆，释放形成最终的玻璃多曲面壳体结构。

7.根据权利要求6所述的玻璃多曲面壳体结构的制备方法，其特征在于，所述步骤一中的加工方法包括：湿法腐蚀或激光加工与湿法腐蚀结合的方法或各项干法刻蚀与湿法刻蚀结合的方法或微电火花加工与湿法腐蚀结合的方法或微超声加工与湿法腐蚀结合的方法。

8.根据权利要求6所述的玻璃多曲面壳体结构的制备方法，其特征在于，所述步骤二中的释气剂为高温下分解产生气体的化合物，是氢化钛、氢化锆、碳酸钙中的一种或多种。

9.根据权利要求6所述的玻璃多曲面壳体结构的制备方法，其特征在于，所述步骤五中的加工方法包括：湿法腐蚀、干法刻蚀、激光加工、减薄研磨抛光中的一种或组合。