[发明专利]一种加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，所述加速度传感器包括：

基板；

质量块，悬空设置在所述基板的上方区域；

第一锚区、第二锚区、第三锚区、第四锚区，围绕所述质量块设置在所述基板上；

第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆，分别对应连接所述第一锚区、第二锚区、第三锚区、第四锚区与所述质量块；

第一电容、第二电容、第三电容、第四电容，分别对应设置在所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆的端部区域；

第一弹簧梁、第二弹簧梁、第三弹簧梁、第四弹簧梁，分别连接于所述第一电容的上极板与所述第一锚区之间、所述第二电容的上极板与所述第二锚区之间、所述第三电容的上极板与所述第三锚区之间、所述第四电容的上极板与所述第四锚区之间；

第一电感、第二电感、第三电感、第四电感，分别对应临近所述第一锚区、第二锚区、第三锚区、第四锚区设置，且分别与所述第一电容、第二电容、第三电容、第四电容组成LC谐振回路。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一电容、第二电容、第三电容、第四电容的上极板与所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆位于同一平面。

3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一电容、第二电容、第三电容、第四电容的下极板分别对应所述上极板设置于所述基板上。

4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一电感、第二电感、第三电感、第四电感的一端分别连接于所述第一电容、第二电容、第三电容、第四电容的下极板，另一端分别连接于所述第一锚区、第二锚区、第三锚区、第四锚区。

5.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一锚区与所述第三锚区关于所述质量块对称设置；和/或所述第二锚区与所述第四锚区关于所述质量块对称设置。

6.根据权利要求5所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一连接杆与所述第三连接杆关于所述质量块对称设置；和/或所述第二连接杆与所述第四连接杆关于所述质量块对称设置；和/或，所述第一电容与所述第三电容关于所述质量块对称设置；和/或，所述第二电容与所述第四电容关于所述质量块对称设置；和/或，所述第一弹簧梁与所述第三弹簧梁关于所述质量块对称设置；和/或，所述第二弹簧梁与所述第四弹簧梁关于所述质量块对称设置。

7.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于：所述上极板沿所述连接杆宽度方向的尺寸大于所述连接杆的宽度。

8.根据权利要求7所述的加速度传感器，其特征在于：所述上极板沿所述连接杆长度方向的边缘与所述下极板的边缘平齐。

9.根据权利要求8所述的加速度传感器，其特征在于：所述下极板的边长均大于所述上极板的边长。

10.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：所述第一电感、第二电感、第三电感、第四电感为MEMS螺旋电感。