[发明专利]一种晶圆加工制程设备端气体供应用FFKM密封圈及其制备方法

权利要求书

1.一种晶圆加工制程设备端气体供应用FFKM密封圈，制备的原料包括FFKM原胶、TR131和填充材料，所述填充材料包括炭黑、白炭黑和GO中的一种或多种。

2.根据权利要求1所述的FFKM密封圈，其特征在于，所述填充材料包括炭黑、白炭黑和GO，优选炭黑、白炭黑和GO的重量比例为(5-15)：(0.1-1)：(4-6)，进一步优选为(9-11)：(0.2-0.5)：(4-6)。

3.根据权利要求1所述的FFKM密封圈，其特征在于，制备的原料包括以下重量份的各组分：

FFKM原胶100份，白炭黑5份-15份，GO 0.1-1份，MgO 4-6份，TR131 0.5-1.5份；优选为FFKM原胶100份，白炭黑9-11份，GO 0.2-0.5份，MgO 4-6份，TR131 0.9-1.1份。

4.根据权利要求1-3任一所述的FFKM密封圈，其特征在于，所述FFKM原胶中F的摩尔含量为70-75％。

5.一种根据权利要求1-4任一所述的FFKM密封圈的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S11，取FFKM原胶、GO、白炭黑和炭黑混炼，冷却得到FFKM混炼胶；

S12，挤压预成型，得到胶绳；

S13，将密封圈模具放在硫化机中预热，裁剪好的胶绳放入模具中，加压硫化成型；

S14，将成型的密封圈修边；

S15，升温二段硫化，降温，得到所述FFKM密封圈。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，S11中，加料顺序为：FFKM原胶、GO、白炭黑和炭黑；

和/或，S11中，所述混炼在开炼机中，采用三包两卷方式薄通混炼，优选所述混炼的温度为23℃-90℃；

和/或，S11中，混炼时，保持辊轴通水降温，优选两辊辊速比为(1.0：1.2)-(1.0：2.0)。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，S12中，所述挤压预成型为单螺杆挤出机挤出成型；优选挤出温度为23℃-80℃、工作压力为5-15Mpa。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，S13中，所述加压硫化成型为平板硫化机一段硫化，优选硫化条件为150-170℃、100-1000s和10-18MPa。

9.根据权利要求3-7任一所述的方法，其特征在于，S15中，所述二段硫化的条件为180-230℃和4-24h；

和/或，S15中，所述二段硫化在氮气介质下有压硫化，优选氮气压力为0.1-0.6Mpa。

10.根据权利要求3-9任一所述的方法，其特征在于，S15中，升温至180-230℃用时2h；180-230℃降温至室温用时2h。