[发明专利]一种小型化的光束漂移检测装置及方法

权利要求书

1.一种小型化的光束漂移检测方法，其特征在于，该方法在小型化的光束漂移检测装置中实现，所述小型化的光束漂移检测装置包括二分之一波片（1）、分束镜（2）、第一位置探测器（3）、四分之一波片（4）、球面反射镜（5）、第二位置探测器（6），入射光束首先依次通过所述二分之一波片（1）和分束镜（2），被分解为第一光束（B1）与第二光束（B2），所述第一光束（B1）入射到所述第一位置探测器（3）的探测面上，所述第二光束（B2）依次经过所述四分之一波片（4）和球面反射镜（5）反射后，再经过所述分束镜（2）透射入射到所述第二位置探测器（6）的探测面上；球面反射镜（5）与第二位置探测器（6）的探测面距离等于球面反射镜（5）焦距；

该方法包括：

利用第一位置探测器（3）和第二位置探测器（6）分别获取第一光斑位置和第二光斑位置；

将所述第一光斑位置和第二光斑位置代入如下公式计算获得入射光束在原坐标系中的位置偏移量和角度偏差量；其中当入射角度变化很小时，入射角度变化与光斑位置在位置探测器上的坐标关系的近似公式如下：

其中，为入射光束在原坐标系平面的位置偏移量，为入射光束在原坐标系平面相对轴的角度偏移量，为入射光束在原坐标系平面相对轴的角度偏移量，为原坐标系原点与第一位置探测器（3）探测面的距离。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分束镜（2）对入射光束反射与透射的能量比例为1:1。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一位置探测器（3）和第二位置探测器（6）采用位置探测器或者四象限光电探测器。