[发明专利]小型化非链式脉冲DF/HF激光装置及其激发方法

权利要求书

1.一种小型化非链式脉冲DF/HF激光装置，其特征在于，包括储气模块、智能快速充气模块、激光放电模块、尾气处理与排放模块和中央控制模块；其中，

所述储气模块用于存储工作气体；

智能快速充气模块用于将所述储气模块内存储的工作气体充入所述激光放电块；

所述激光放电模块用于对所述工作气体进行放电产生激光增益，形成激光输出；

所述尾气处理与排放模块用于对所述激光放电模块放电时产生的工作尾气进行有害成分吸附处理，并将处理后的工作尾气排放到大气中；

所述中央控制模块用于分别对所述储气模块、所述智能快速充气模块、所述激光放电模块、所述尾气处理与排放模块进行控制，实现在单次放电前通过所述智能快速充气模块向所述激光放电模块充入工作气体，在单次放电后通过所述尾气处理与排放模块排空所述所述激光放电模块产生的工作尾气。

2.如权利要求1所述的小型化非链式脉冲DF/HF激光装置，其特征在于，所述储气模块包括SF₆储气瓶、D₂储气瓶、SF₆充气管道、SF₆充气流量计、D₂充气流量计、D₂充气管道、真空储气腔体和真空储气腔体压力传感器；其中，

所述SF₆储气瓶、所述SF₆充气流量计、所述真空储气腔体依次通过所述SF₆充气管道连接，所述SF₆储气瓶用于存储SF₆气体，所述SF₆充气管道用于将所述所述SF₆储气瓶内的SF₆气体输送至所述真空储气腔体，所述SF₆充气流量计与所述中央控制模块连接，用于在所述中央控制模块的控制下控制所述SF₆气体的充气量；

所述D₂储气瓶、所述D₂充气流量计、所述真空储气腔体依次通过所述D₂充气管道连接，所述D₂储气瓶用于存储D₂气体，所述D₂充气管道用于将D₂储气瓶内的D₂气体输送至所述真空储气腔体内，所述D₂充气流量计与所述中央控制模块连接，用于在所述中央控制模块的控制下控制所述D₂气体的充气量；

所述真空储气腔体压力传感器与所述中央处理模块连接，用于实时测量所述真空储气腔体内的气压，并发送至所述中央处理模块。

3.如权利要求2所述的小型化非链式脉冲DF/HF激光装置，其特征在于，所述智能快速充气模块包括充气电磁阀和混合气管道，所述真空储气腔体、所述充气电磁阀、所述激光放电模块依次通过所述混合气管道连接，所述混合气管道用于将所述真空储气腔体内混合的D₂气体与SF₆气体输送至所述激光放电模块，所述电磁阀与所述中央控制模块连接，用于在所述中央控制模块的控制下控制所述混合气管道的通断。

4.如权利要求3所述的小型化非链式脉冲DF/HF激光装置，其特征在于，所述激光放电模块包括放电腔体、放电电极、谐振腔反射镜、谐振腔输出镜和放电腔体压力传感器；其中，

所述放电腔体具有进气管口和排气管口，所述进气管口与所述混合气管道连接，所述真空储气腔体内混合的D₂气体与SF₆气体从所述进气管口进入所述放电腔体内；

所述放电电极镶嵌所述放电腔体内，用于对混合的D₂气体与SF₆气体放电，产生激光增益；

所述放电腔体位于所述谐振腔反射镜与所述谐振腔输出镜之间，所述谐振腔反射镜和所述谐振腔输出镜构成光学谐振腔，在所述光学谐振腔的反馈下，所述放电腔体内形成激光振荡输出；

所述放电腔体压力传感器与所述中央处理模块连接，用于实时测量所述放电腔体的气压，并发送至所述中央处理模块。