[发明专利]运输装置及其控制方法

说明书

运输装置包括用于运输材料的运输模块，其中安装有用于控制运输模块的操作的控制程序的第一控制模块，以及其中安装有该控制程序的第二控制模块。第二控制模块监测第一控制模块的操作，并在第一控制模块中发生故障时执行控制程序以控制运输模块的操作。

技术领域

本公开涉及运输装置及其控制方法。更具体地说，本公开涉及用于在半导体器件制造过程中运输材料的运输装置，以及控制该装置的方法。

背景技术

在半导体器件的制造过程中，诸如半导体晶圆、印刷电路板等材料可以由诸如架空起重运输(OHT)、轨道导向车(RGV)、自动导向车(AGV)、塔式升降机等运输装置运输，并且可以存储在包括用于存储材料的多个架子和用于传送材料的传送机器人的仓储装置中。

材料的运输可以由上部控制模块(例如材料控制系统(MCS))控制。运输装置可以包括用于运输材料的运输模块和用于控制运输模块的操作的控制模块，以及可以安装在控制模块中用于控制运输模块的操作的控制程序。控制模块可以接收来自上部控制模块的运输命令，并可以执行控制程序以根据运输命令控制运输模块的操作。

当使用运输装置运输材料的同时，控制模块发生故障时，例如，当网络故障、电源故障等发生时，运输模块的操作可能被停止，从而材料运输所需的时间可能被增加。

发明内容

本发明的实施例提供了能够克服控制模块故障的运输装置及其控制方法。

根据本发明的一个方面，运输装置可以包括被配置为运输材料的运输模块、其中安装有用于控制运输模块的操作的控制程序的第一控制模块以及其中安装有控制程序的第二控制模块。在这种情况下，第二控制模块可以监测第一控制模块的操作，并可以在第一控制模块发生故障时执行控制程序以控制运输模块的操作。

根据本发明的一些实施例，第一控制模块可以从上部控制模块接收材料的信息以及材料的运输命令。

根据本发明的一些实施例，第一控制模块可以生成与运输模块在运输材料时的操作有关的事件日志文件，并且可以包括用于存储材料的信息、材料的运输命令和事件日志文件的第一存储单元。

根据本发明的一些实施例，第二控制模块可以包括第二存储单元，并且可以将存储在第一存储单元中的材料的信息、材料的运输命令和事件日志文件复制并存储在第二存储单元中。

根据本发明的一些实施例，第二控制模块可以根据第一控制模块生成的事件日志文件来确定故障是否在第一控制模块中发生。

根据本发明的一些实施例，运输模块可以包括运输机器人，其包括用于处理材料的机器人手、用于移动运输机器人的驱动单元以及安装在机器人手上并被配置为检测材料的传感器。

根据本发明的一些实施例，第二控制模块可以在执行控制程序时使用传感器检查是否有材料被运输模块运输。

根据本发明的一些实施例，存储材料的信息的电子标签可以附在材料上，并且运输机器人可以包括用于从电子标签上识别材料的信息的阅读器。

根据本发明的一些实施例，第一控制模块可以从上部控制模块接收材料的信息和材料的运输命令，并且第二控制模块可以从第一控制模块复制并存储材料的信息和材料的运输命令，并且可以将从第一控制模块复制的材料的信息与阅读器识别的材料的信息进行对比。

根据本发明的一些实施例，第二控制模块可以控制运输模块的操作，以便在从第一控制模块复制的材料的信息与阅读器识别的材料的信息相同时恢复材料的运输。

根据本发明的一些实施例，运输模块可以进一步包括控制单元，用于根据从第一控制模块或第二控制模块提供的操作命令控制运输机器人和驱动单元的操作。

根据本发明的一些实施例，第二控制模块可以检查该控制程序是否由故障转移功能执行。