[发明专利]一种晶圆抛光装置

权利要求书

1.一种晶圆抛光装置，其特征在于，包括：

第二压力介质腔体（2），用于感应压力变化；

多孔盘（5），带有多个通孔（51），其下表面包覆有柔性单腔膜（6），用于支撑晶圆（7）；

导通阀单元（4），设于第二压力介质腔体（2）和第三压力介质腔体（3）之间，用于第二压力介质腔体（2）和第三压力介质腔体（3）之间的导通或隔离，其至少包括导通阀座（41），可相对导通阀座（41）移动的导通阀（42），及与导通阀（42）相抵的弹性件（43），所述导通阀座（41）下端伸入通孔（51）内，所述导通阀（42）的下端突出于导通阀座（41）的下端面；

所述通孔（51）的内径大于导通阀座（41）的外径，使得导通阀座（41）外壁和通孔（51）内壁之间形成供柔性单腔膜（6）发生形变的间隙（511）；

所述导通阀座（41）与多孔盘（5）由柔性单腔膜（6）覆盖配合形成第三压力介质腔体（3）；

第一压力介质腔体（1），用于控制多孔盘（5）、第二压力介质腔体（2）和第三压力介质腔体（3）的上、下移动；

于第三压力介质腔体（3）形成负压，使得多孔盘（5）和柔性单腔膜（6）上吸附有晶圆（7）时，所述导通阀（42）克服弹性件（43）的力相对导通阀座（41）发生移动，将第二压力介质腔体（2）和第三压力介质腔体（3）相连通，即吸附晶圆（7）时，第二压力介质腔体（2）和第三压力介质腔体（3）导通。

2.根据权利要求1所述的晶圆抛光装置，其特征在于：在所述第三压力介质腔体（3）呈负压状态时，所述导通阀座（41）的下端面与多孔盘（5）的下表面齐平。

3.根据权利要求1所述的晶圆抛光装置，其特征在于：所述间隙（511）径向宽度为S，所述柔性单腔膜（6）的厚度为H，则S≥2H。

4.根据权利要求3所述的晶圆抛光装置，其特征在于：所述导通阀（42）突出于导通阀座（41）下端面的长度为D，则D≥1/10H。

5.根据权利要求4所述的晶圆抛光装置，其特征在于：所述导通阀座（41）下端面的外径为d1，所述导通阀（42）的外径为d2，则d1≥d2+H。

6.根据权利要求1所述的晶圆抛光装置，其特征在于：所述导通阀座（41）的中心与其所在通孔（51）的中心重合。

7.根据权利要求1所述的晶圆抛光装置，其特征在于：所述通孔（51）均为圆形，或均为椭圆形，或均为四边形，或均为异形，或为上述至少两种形状的组合。