[发明专利]一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法

权利要求书

1.一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法，其特征在于：

步骤1：将绝缘样品置于一上方开口的金属壳体中，在该金属壳体内置一钨丝缠绕的线圈装置用于产生热电子；钨丝的正负极接在加热电源的金属电极上，使钨丝发热并在周围正电场的作用下溢出热电子；金属壳体上连接电压可调的电源正极，为金属壳体提供一正偏压；通过对偏压电源的调节，金属壳体带有的正偏压对于绝缘样品表面积累的荷电具有吸引作用；

步骤2：并用扫描电镜对绝缘样品进行扫描；直至出现明显的荷电现象即肉眼看到样品图像局部或是整体的明亮现象；；

步骤3：钨丝上加供电直流电源，金属壳体上施加偏压电源，同时打开金属壳体上的偏压电源与钨丝的供电直流电源并调节钨丝上的电压，使钨丝加热产生热电子，调节加载在金属壳体上的偏压电压，调节所参数的正电场的大小；绝缘样品表面积累的电荷会被钨丝上散发的电子激发，受到激发的表面电荷在正电场的作用下向金属壳体移动，从而减弱或消除荷电效应带来的图像缺陷；步骤4：观察扫描图像的变化，调节钨丝温度和金属壳体上的偏压大小，直至扫描电镜图上的异常亮的区域亮度消失。

2.一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的装置，其特征在于包括金属壳体(1)、正负电极(2)、冷却水管道(3)、绝热陶瓷(4)、钨丝(5)、和底座(8)；

通过底座(8)利用螺栓将该装置固定于于扫描电镜的样品台上；金属壳体(1)固定在底座(8)的中间位置，金属壳体连接正偏压电源；在金属壳体(1)的正中央为绝热陶瓷(4)，其固定在底座(8)上；绝热陶瓷(4)的外侧为螺旋状的钨丝(5)；在正负电极(2)的对称一侧的金属壳体(1)的安置冷却水管道(3)，用于给整个装置降温。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于：金属壳体(1)通过接线孔(7)接有0-10kv可调的直流正偏压，用于吸引附着在非导电样品上的荷电。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于：绝热陶瓷(4)为圆柱陶瓷，绝热陶瓷(4)的上表面平整，用于放置样品；且绝热陶瓷(4)的上表面低于金属壳体(1)上表面。

5.如权利要求2所述的装置，其特征在于：钨丝(5)与绝热陶瓷(4)无接触且两者上表面平齐。

6.如权利要求2所述的装置，其特征在于：在钨丝(5)外侧设置有螺旋状的钼制负偏压螺旋杆(6)，负偏压螺旋杆(6)固定在底座(8)上，并连接负偏压；负偏压螺旋杆(6)将钨丝(5)加热生成的部分热电子反弹至样品处，负偏压螺旋杆(6)可为螺旋状，也可为圆筒状，其上表面不高于钨丝(5)的上表面。

7.如权利要求2所述的装置，其特征在于：冷却水管道(3)通过金属壳体(1)的上侧的通孔，由金属壳体(1)的外侧穿至内侧。