[发明专利]用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统及其取样方法在审
申请号: | 202111211492.5 | 申请日: | 2021-10-18 |
公开(公告)号: | CN113970467A | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 乔洋;朱颜;陈化冰;孙建;王陆平 | 申请(专利权)人: | 苏州南大光电材料有限公司;江苏南大光电材料股份有限公司;全椒南大光电材料有限公司 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28;G01N27/62 |
代理公司: | 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 | 代理人: | 郑赛男 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 磷烷砷烷 剧毒 气体 金属 离子 取样 系统 及其 方法 | ||
1.用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统,其特征在于,该取样装置包括依次通过管道连接的氮气置换吹扫装置、吸收装置以及带颜色指示功能的尾气处理装置,并在管道上安装调压装置、流量控制装置和针阀,其中,
氮气置换吹扫装置用于置换出管道内的空气;
调压装置用于调整管道内部的气压;
针阀用于控制管道的开关;
流量控制装置用于控制气体流动速度和气体流量;
吸收装置用于吸收毒气中金属离子;
尾气处理装置用于检测吸收装置处理后气体中是否含有磷烷砷烷,并带有指示功能。
2.根据权利要求1所述的用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统,其特征在于:所述吸收装置的数量为三组及以上,且多组吸收装置相互串联。
3.根据权利要求1所述的用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统,其特征在于:所述取样装置还包括吸收液,所述吸收液包含但不限于高纯稀硝酸,所述吸收液存放在吸收装置中。
4.根据权利要求1所述的用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统,其特征在于:所述取样装置设置于清洁柜中。
5.用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样方法,其特征在于,采用权利要求1的取样装置,该取样方法包括;
将毒气通入到氮气置换吹扫装置,并由氮气置换吹扫装置将毒气中的空气置换出来;
再将置换后的毒气送入到吸收装置中,并由吸收装置将毒气中金属离子吸收;
吸收装置处理后的毒气通入到尾气处理装置中,由尾气处理装置对吸收后气体中的磷烷砷烷进行检测。
6.根据权利要求5所述的用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样方法,其特征在于:所述毒气通入氮气置换吹扫装置时,流量控制装置控制磷烷砷烷在10-100ml/min流速下通入到取样装置中。
7.根据权利要求5所述的用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样方法,其特征在于:所述毒气通入氮气置换吹扫装置时,调压装置控制磷烷砷烷通入的压力在0-1atm范围内。
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