[发明专利]一种微结构辐射器及制作方法

权利要求书

1.一种微结构辐射器，其特征在于，包括：

热光电转换系统，所述热光电转换系统包括热源部、辐射器、滤波器、光伏电池和热控模块，所述热源部被配置为提供热源，所述辐射器被配置为将热源转换为热辐射能，所述滤波器被配置为过滤光子，所述光伏电池被配置为实现光电转换，所述热控模块被配置为控制温度。

2.根据权利要求1所述的微结构辐射器，其特征在于，还包括试验模型，所述试验模型被配置为对所述辐射器进行高温稳定性测试。

3.根据权利要求1所述的微结构辐射器，其特征在于，所述热源部包括同位素源和热管冷却反应堆。

4.根据权利要求3所述的微结构辐射器，其特征在于，所述同位素源外侧设置有所述辐射器，所述热管冷却反应堆外侧设置有所述辐射器。

5.根据权利要求1所述的微结构辐射器，其特征在于，所述辐射器的一端设置有第一盖板，所述辐射器的另一端设置有第二盖板，所述第一盖板与所述第二盖板被配置为固定所述辐射器。

6.根据权利要求1所述的微结构辐射器，其特征在于，所述光伏电池设置为半导体光伏电池。

7.根据权利要求1所述的微结构辐射器，其特征在于，所述辐射器具有光谱发射率选择特性。

8.根据权利要求1所述的微结构辐射器，其特征在于，所述辐射器为二维光子晶体辐射器时，基底上是圆形柱孔洞二维阵列。

9.一种微结构辐射器制作方法，适用于权利要求1-8任一项所述的微结构辐射器，其特征在于，包括如下步骤：

(1)、基底经真空高温退火后，抛光至粗糙度、平整度及平行度均达到光学要求；

(2)、基底上沉积一层Cr薄膜作为硬掩模，其上旋涂防反射涂层及光刻胶，使用激光干涉刻蚀，邻近效应形成圆孔；

(3)、曝光确定空腔周期，等离子体灰化法确定空腔直径，形成光刻图案；

(4)、采用反应离子刻蚀将图形转移到Cr层，最后刻蚀至基底。

10.根据权利要求9所述的微结构辐射器制作方法，其特征在于，基底上涂覆可由紫外光照后被固化的聚合物流体，压印得到模板后进行二次压印，形成大面积微结构。