[发明专利]一种晶圆真空搬运机械装置

权利要求书

1.一种晶圆真空搬运机械装置，包括支撑柱(1)、第一支撑臂(2)、第二支撑臂(3)与设置于第二支撑臂(3)上侧的支撑叉，第一支撑臂(2)和第二支撑臂(3)之间通过第一转动机构转动连接，第二支撑臂(3)与支撑叉通过第二转动机构转动连接；其特征在于，还包括移动机构、升降机构、旋转机构、调节机构和两组拉伸机构；

所述移动机构包括第一传动结构第一限位结构，移动机构外侧壁设置有第一外壳(7)，第一外壳(7)上侧设置有底板(8)，第一传动结构包括第一电机(9)、第一螺纹杆(10)和第一螺纹管(11)；

所述升降机构包括第二传动结构和第二限位结构，升降机构外侧壁设置有第二外壳(13)，第二外壳(13)底端与底板(8)顶端中部连接，第二传动结构包括第二电机(14)、第二螺纹杆(15)和第二螺纹管(16)，支撑柱(1)底端设置有槽，所述旋转机构设置于槽内；

支撑叉包括支撑板和两组叉体，支撑板内部右侧设置有第一腔，所述调节机构设置于第一腔内，两组叉体均包括第一叉体(17)和第二叉体(18)，两组第一叉体(17)内部右侧均设置有第二腔，所述两组拉伸机构分别设置于两组第二腔内；

调节机构包括角度调节结构和加固结构，角度调节结构包括弯轴(19)和两组弯管(20)，弯轴(19)设置于第一腔内，弯轴(19)两端分别与第一腔前后两端连接，两组弯管(20)分别套设于弯轴(19)外侧壁前侧和后侧，两组弯管(20)右端固定设置有第一连接板(21)，支撑板右端设置有第一长型孔，两组第一连接板(21)右端穿过第一长型孔后分别与两组第一叉体(17)左端连接；

所述加固结构包括两组第三螺纹杆(22)和两组螺母(23)，两组弯管(20)底端均固定设置有第二连接板(24)，支撑板底端右侧设置有弯型孔，两组第二连接板(24)底端分别穿过两组弯型孔，两组第三螺纹杆(22)顶端分别与两组第二连接板(24)底端连接，两组第三螺纹杆(22)外侧壁上侧均套设有加固板(25)，两组加固板(25)顶端均固定设置有橡胶层，两组第三螺纹杆(22)外侧壁中部均套设有橡胶圈(26)，两组螺母(23)分别螺装套设于两组第三螺纹杆(22)外侧壁下侧，两组螺母(23)外侧壁均设置有摩擦纹；

拉伸机构包括第三传动结构和第三限位结构，第三传动结构包括两组第一齿轮(27)、连接轴(28)和两组齿条板(29)，两组第一齿轮(27)、连接轴(28)和齿条板(29)均设置于第二腔内，连接轴(28)前后两端分别与第二腔前后两端可转动连接，两组第一齿轮(27)分别固定套设于连接轴(28)外侧壁前侧和后侧，两组齿条板(29)分别啮合设置于两组第一齿轮(27)底端，第一叉体(17)右端下侧设置有两组第一连接孔，两组齿条板(29)右端分别穿过两组第一连接孔后均与第二叉体(18)左端下侧连接，连接轴(28)可转动穿过第一叉体(17)后并设置连接有手轮(30)；

第一电机(9)固定设置于第一外壳(7)左端，第一螺纹杆(10)左右两端分别与第一外壳(7)内部左右两端可转动连接，第一螺纹管(11)螺装套设于第一螺纹杆(10)外侧壁，第一螺纹管(11)顶端固定设置有第一设置板(31)，第一外壳(7)顶端设置有三组第二长型孔，第一设置板(31)顶端穿过中部第二长型孔后与底板(8)底端中部连接；

第二电机(14)固定设置于第二外壳(13)内部底端，第二螺纹杆(15)固定设置于第二电机(14)输出端，第二螺纹管(16)螺装套设于第二螺纹杆(15)外侧壁上侧，第二螺纹管(16)左端和右端均固定设置有第三设置板，两组第三设置板分别与槽内部左端下侧和右端下侧连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆真空搬运机械装置，其特征在于，旋转机构包括第三电机(32)和两组第二齿轮(33)，两组第二齿轮(33)前后横向设置，第三电机(32)输出端与前侧第二齿轮(33)底端连接，第三电机(32)与槽内部上侧连接，两组第二齿轮(33)啮合设置，后侧第二齿轮(33)顶端固定设置有传动轴，传动轴顶端可转动穿过支撑柱(1)顶端后与第一支撑臂(2)底端左侧连接。