[发明专利]一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法

说明书

本发明公开一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法，装置包括磁力板和机械臂，磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵，磁力板上间隔设有若干通孔，每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上，并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐，磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。本发明取消掩模片开孔，采用磁力板开孔及机构翻转方式，提高基板与掩膜板的对位精度，有利于OLED量产顺利进行。

技术领域

本发明涉及显示技术领域的制造设备，尤其涉及一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED ，Organic Lighting Emitting Diode)具有全固态、超薄、无视角限制，快速响应、低温工作、易于实现柔性显示和3D显示等优点，一致被公认为是继LCD之后新一代的显示主流技术。目前OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜，主要是使用加热容器在真空环境下加热蒸镀材料，使升华型或者熔融型的蒸镀材料在高温状态下气化，沉积在TFT （Thin Film Transistor，薄膜晶体管）结构或者阳极结构的玻璃基板上。

目前现有的装置_如图1，该装置从上至下依次为磁力板1（Magnet）/基板2（GLASS）/掩膜板3（MASK）。为减小玻璃基板弯曲（Bending），基板是以正面朝下状态在非成膜区域处，对掩膜板3 设置若干筋条即掩膜片（Mask Sheet）条，用以支撑玻璃基板，从而减小弯曲，该筋条上开设若干小孔，用以基板支撑脚（Glass Support pin）上下移动，完成基板与掩膜板的对位。

现有装置缺点： 1）因像素设计原因，掩膜片的洞（Mask Sheet Hole）区域较小（≈2mm），故基板支撑脚需＜2mm， 此时基板支撑脚实际制作时有难度；2）基板支撑脚实际＜2mm，基板与掩膜板对位时，基板对位极易出现问题（基板支撑脚活动区域过小，难于满足高精度对位要求），制约OLED蒸镀量产。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法。

本发明采用的技术方案是：

一种OLED蒸镀基板传送装置，其包括磁力板和机械臂，磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵，磁力板上间隔设有若干通孔，每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上，并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐，磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。

进一步地，磁力板上位于同一行或同一列的磁铁的磁极方向相同。

进一步地，磁力板对应磁铁设有若干固定槽，磁铁可拆卸固定在固定槽内。

进一步地，掩膜板包括掩膜片和掩膜框，掩膜板的侧边由一掩膜框固定，掩膜框固定在掩膜板支撑座上。

进一步地，磁力吸盘棒一端具有磁力吸盘，磁力吸盘对基板进行吸附支撑。

一种OLED蒸镀基板传送装置的使用方法，其包括以下步骤：

步骤1，将磁力板一面朝上放置，并将磁铁固定在磁力板上以形成磁力矩阵；

步骤2，磁力吸盘棒配置于磁力板的通孔内，且磁力吸盘棒保证具有磁力吸盘的一端高于磁力板一面；

步骤3，操纵机械臂将基板送进腔室以放置于磁力吸盘棒上，并在磁力吸盘棒对基板形成支撑后操纵机械臂退出腔室；

步骤4，控制磁力吸盘棒下降，并使得磁力吸盘棒的一端低于磁力板的一面；

步骤5，待基板放置于磁力板的一面后，将掩膜板反面送入腔室并放置于基板的上方；

步骤6，逐步降低掩膜板高度至即将接触基板位置，启动CCD进对位，同时控制调整掩膜板的位置，使得掩膜板与基板对齐；