[发明专利]一种低温共烧玻璃陶瓷材料及其制备方法和应用有效
申请号: | 202111190695.0 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN113979737B | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 李勃;陈劲;朱朋飞;张雪笛;张晗 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳国际研究生院 |
主分类号: | C04B35/14 | 分类号: | C04B35/14;C04B35/626;C04B35/622;H01L23/29 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 赵琴娜 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 玻璃 陶瓷材料 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种低温共烧陶瓷,其特征在于,其采用低温共烧玻璃陶瓷材料制得,所述低温共烧玻璃陶瓷材料的制备原料包括以下按重量份计的组分:
70-82份SiO2、10-12份B2O3、0.5-8份Al2O3、0.5-1.5份MgO、0.5~2份添加剂。
2.根据权利要求1所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述添加剂包括BaO、K2O、Na2O、CaO、Li2O、ZrO2中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述低温共烧玻璃陶瓷材料的粒径不超过10μm。
4.根据权利要求3所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述低温共烧玻璃陶瓷材料的粒径分布区间为0.5-10μm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述低温共烧玻璃陶瓷材料的制备方法包括:
将所有所述组分混合,熔炼,水淬。
6.根据权利要求5所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述低温共烧玻璃陶瓷材料的制备方法还包括对所述水淬后的产物进行研磨。
7.根据权利要求6所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述低温共烧玻璃陶瓷材料的制备方法还包括在所述研磨后进行筛分,取筛下物。
8.根据权利要求6所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述研磨为湿法球磨。
9.根据权利要求8所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述湿法球磨的转速为300-600r/min。
10.根据权利要求9所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述湿法球磨的时间为10-40h。
11.根据权利要求5所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述熔炼的温度为1300℃~1500℃。
12.根据权利要求11所述的低温共烧陶瓷,其特征在于,所述熔炼的时间为2~5h。
13.一种LTCC器件,其特征在于,其包括权利要求1-12任一项所述的低温共烧陶瓷。
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