[发明专利]一种边缘等离子体分布调节装置

权利要求书

1.一种边缘等离子体分布调节装置，其特征在于，包括：射频源、卡盘、晶圆电极、接地电极、第三电极和调节电源；

所述射频源加载在所述晶圆电极上；所述射频源用于所述接地电极和所述晶圆电极之间产生射频交变电场以产生等离子体；所述接地电极接地；所述晶圆电极的边缘设置所述卡盘；所述第三电极设置在所述卡盘上；所述调节电源与所述第三电极连接；所述调节电源用于调制所述卡盘处的电位以改变所述晶圆电极边缘处的电势和电场分布；所述卡盘为导电介质，所述调节电源为直流电源；所述卡盘为绝缘介质，所述调节电源为裁剪波电源；所述裁剪波电源的电压波形为裁剪波形；所述裁剪波形的表达式为V_ac＝V₁sin(2πft+θ)+V₂sin(2n*2πft)，其中，V_ac为裁剪波形，V₁为第一电源幅值，V₂为第二电源幅值，f为频率，t为时间，θ为相位角，n为频率倍数。

2.根据权利要求1所述的边缘等离子体分布调节装置，其特征在于，所述裁剪波电源包括第一电源和第二电源，所述第一电源和所述第二电源均与所述第三电极连接。

3.根据权利要求1所述的边缘等离子体分布调节装置，其特征在于，还包括匹配网络，所述匹配网络分别与所述射频源和所述晶圆电极相连，所述匹配网络用于将所述射频源加载在所述晶圆电极上。

4.根据权利要求1所述的边缘等离子体分布调节装置，其特征在于，还包括外部腔室，所述卡盘、所述晶圆电极、所述接地电极和所述第三电极设置在所述外部腔室内；所述射频源和所述调节电源设置在所述外部腔室外。

5.根据权利要求4所述的边缘等离子体分布调节装置，其特征在于，所述外部腔室接地。