[发明专利]产品虚拟量测方法及系统及装置及介质

权利要求书

1.产品虚拟量测方法，其特征在于，所述方法包括：

获得多个第一产品的第一历史加工数据，所述第一产品为已完成工艺加工和质量检测的产品；

对每个所述第一历史加工数据进行特征提取获得多个第一数据集；

对每个所述第一数据集进行时序滑窗处理，获得多个第一参考样本；

将多个所述第一数据集与对应的所述第一参考样本做差分处理获得多个第一差分样本；

基于多个所述第一差分样本获得第一训练集；

利用所述第一训练集训练第一模型获得第二模型，所述第一模型用于学习参数特征差和特性值差之间的关系；

获得待检测产品的实时加工数据，所述待检测产品为已完成工艺加工且未完成质量检测的产品；

对所述实时加工数据进行特征提取获得第二数据集；

对所述第二数据集进行时序滑窗处理获得第二参考样本，将所述第二数据集与所述第二参考样本做差分处理获得差分数据；

将所述差分数据输入所述第二模型，获得所述待检测产品与其对应的参考产品之间的特性值差；

其中，所述参数特征差为第一特征与第二特征的差值，所述第一特征为预设产品的工艺加工设备的设备参数的特征；所述第二特征为参考产品的工艺加工设备的设备参数的特征；所述特性值差为第一特性值与第二特性值的差值，所述第一特性值为所述预设产品的质量检测设备输出的特性值；所述第二特性值为所述参考产品的质量检测设备输出的特性值。

2.根据权利要求1所述的产品虚拟量测方法，其特征在于，所述方法包括：

基于m个已完成工艺加工和质量检测的第一产品1至第一产品m，获得所述第一产品1至所述第一产品m对应的第一历史加工数据1至第一历史加工数据m，m为大于1的整数；

基于所述第一历史加工数据1至所述第一历史加工数据m，获得第一数据集1至第一数据集m；

对所述第一数据集1至所述第一数据集m进行时序滑窗处理获得对应的第一参考样本1至第一参考样本m；

将所述第一数据集1与所述第一参考样本1做差分处理获得第一差分样本1，...，将所述第一数据集m与所述第一参考样本m做差分处理获得第一差分样本m；

基于所述第一差分样本1至所述第一差分样本m获得第一训练集。

3.根据权利要求1所述的产品虚拟量测方法，其特征在于，所述方法包括：

基于所述实时加工数据，获得所述待检测产品的工艺加工设备的设备参数的特征a；

对所述实时加工数据进行时序滑窗处理，获得所述待检测产品对应的参考产品a；

基于所述参考产品a的历史加工数据，获得所述参考产品的工艺加工设备的设备参数的特征b和特性值b；

基于所述特征a和所述特征b获得所述待检测产品的第一参数特征差；

将所述第一参数特征差输入所述第二模型获得所述待检测产品的第一特性值差；

基于所述第一特性值差和所述特性值b获得所述待检测产品的特性值预测结果。

4.根据权利要求1所述的产品虚拟量测方法，其特征在于，第一数据集c的获得方式为：

从第一历史加工数据c中提取获得：加工产品c的工艺设备的第一监测参数、检测所述产品c的质量检测设备d的输出特性值和所述质量检测设备d检测所述产品c的第一检测时间，c为大于或等于1且小于或等于m的整数；

对所述第一监测参数进行特征提取获得特征数据；

基于所述第一检测时间、所述特征数据和所述输出特性值获得所述第一数据集。

5.根据权利要求4所述的产品虚拟量测方法，其特征在于，对所述第一监测参数进行特征提取获得时域特征数据以及频域特征数据。

6.根据权利要求4所述的产品虚拟量测方法，其特征在于，产品i对应的第一数据集i为：，其中，为所述产品i的第一检测时间，为所述产品i对应的特征数据，为所述产品i对应的输出特性值，i大于或等于1且小于或等于m。