[发明专利]一种电镀机用自动补水次数侦测卡控系统在审

专利信息
申请号: 202111174775.7 申请日: 2021-10-09
公开(公告)号: CN113802171A 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 夏发成;颜琮林 申请(专利权)人: 矽品科技(苏州)有限公司
主分类号: C25D21/14 分类号: C25D21/14;C25D21/12;C25D17/00
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人: 蒋慧妮
地址: 215123 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 电镀 自动 次数 侦测 系统
【说明书】:

发明揭示了一种电镀机用自动补水次数侦测卡控系统,该系统包括电源转换器、蜂鸣器、计数器、计时器、第一继电器和第二继电器,电源转换器分别与蜂鸣器、计数器、计时器、第一继电器和第二继电器电性连接,用于控制补水阀的做动,第一继电器用于药水槽内的补水信号控制;电源转换器的正电分别与蜂鸣器、第一继电器、计数器和计时器电性连接,电源转换器的负电分别与蜂鸣器、第一继电器、计数器、第二继电器和计时器电性连接。加装补水次数侦测卡控机制后,单位时间内补水次数大于设定次数时,会断开补水讯号机台报警,可有效避免药水槽内补水的信号控制因补水过多造成的药水溶度异常。

技术领域

本发明涉及一种电镀机用自动补水次数侦测卡控系统,可用于半导体封装技术领域。

背景技术

电镀液主要包括主盐、导电盐、缓冲剂、络合剂、添加剂等。1.主盐是指能提供镀液金属离子的盐,能在阴极上沉积,其沉积是所要求的金属盐。主盐浓度要控制在工艺要求的范围内,并与其他成分维持恰当的浓度比例。例如,镀铜时,焦磷酸盐是溶液,焦磷酸铜是主盐。2.导电盐是指能提高镀液导电能力的盐,使槽电压降低,扩大阴极电流密度范围,有助于改善镀层质量,对放电金属离子不起络合作用,主要是碱金属或碱土金属的盐类(包括氨盐),例如钾盐镀锌中的氯化钾。镀铜时,硝酸盐为导电盐,具有提高工作电流密度上限的作用。3.缓冲剂,其作用是能使电镀液的pH值控制在工艺要求的范围内,一般由弱酸组成,如镀镍溶液中加入硼酸,能起到较好的缓冲作用。4.络合剂,其作用是能增大阴极极化,使镀层结晶细密,促进阳极深解,能络合主盐中的金属离子。5.添加剂,在电镀液中加入少量有机物或无机物,可以改善镀层的结晶状态,提高电镀液的分散能力和深度能力。例如光亮剂、润湿剂等属于添加剂。

电镀液因温度及作业带出消耗,液位高度会不断降低,因此电镀机具备自动补水维持液位功能,这种设置的优点是能够维持液位量,缺点是此自动补水功能仅仅能补充液位降低部份,无法补充水量的卡控机制,常因异常补水会造成电镀液浓度异常,导致产品报废,大大地影响了生产效率。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题,提出一种电镀机用自动补水次数侦测卡控系统。

本发明的目的将通过以下技术方案得以实现:一种电镀机用自动补水次数侦测卡控系统,该系统包括电源转换器、蜂鸣器、计数器、计时器、第一继电器和第二继电器,所述电源转换器分别与蜂鸣器、计数器、计时器、第一继电器和第二继电器电性连接,用于控制补水阀的做动,第一继电器用于药水槽内的补水信号控制;

所述电源转换器的正电分别与蜂鸣器、第一继电器、计数器和计时器电性连接,所述电源转换器的负电分别与蜂鸣器、第一继电器、计数器、第二继电器和计时器电性连接;

所述补水阀与计数器并联,计数器的正负电由电源转换器直接提供,计数器的点位3接电源转换器正电,计数器的点位7接计时器的点位6,第一继电器的正电与计数器的常开点位4电性连接;

计时器的正负电由电源转换器直接提供,计时器的点位8与电源转换器的正电电性连接,计时器的点位1与点位3分别接第二继电器的常开触点,第二继电器动作时,计时器的点位1与点位3导通;第二继电器的负电由电源转换器直接提供,第二继电器的正电接计时器的点位6,第二继电器用于稳定加强复位控制信号点位6的信号输出时间,并自动复归复位控制信号。

优选地,所述电源转换器的正电分别与蜂鸣器的正极、计数器的点位3电性连接,所述电源转换器的负电分别与蜂鸣器的负极、第一继电器的负极、第二继电器的负极电性连接。

优选地,所述蜂鸣器的正电由电源转换器经过药水槽内补水的信号控制继电器的常开触点,负电由电源转换器直接提供。

优选地,所述补水阀与计数器的CP1计数触点9并联,补水信号与第一继电器电性连接,补水信号每次输出时,计数器的CP1计数触点9接收信号并计数,同时补水阀作动补水。

优选地,所述计时器设定卡控时间,依设定单位时间经由计时器的点位6循环发送复位控制信号至计数器复位控制信号的Reset点位7。

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