[发明专利]工业用机器人的手和工业用机器人在审
申请号: | 202111170110.9 | 申请日: | 2021-10-08 |
公开(公告)号: | CN114378837A | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 细川正己;中江孝郎 | 申请(专利权)人: | 日本电产三协株式会社 |
主分类号: | B25J11/00 | 分类号: | B25J11/00;B25J15/02;B25J15/08;B25J18/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沈捷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工业 机器人 | ||
1.一种工业用机器人的手,其具备:
装载部,所述装载部装载晶圆;
转动部,所述转动部支承所述装载部且构成为绕沿第一方向延伸的轴旋转自如;
按压部,所述按压部被所述转动部支承为向所述第一方向移动自如,且能够按压装载在所述装载部的晶圆的端面;以及
轴部件,所述轴部件与所述按压部固定连接,且构成为沿所述第一方向移动自如,
所述轴部件能够与所述转动部的旋转连动而旋转,
所述转动部的旋转轴和所述轴部件的轴中心一致。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人的手,其中,
所述转动部包括:固定连接部件,所述固定连接部件将所述按压部支承为沿所述第一方向移动自如,且与所述装载部固定连接;第一筒状部件,所述第一筒状部件与所述固定连接部件固定连接,且内插有所述轴部件;以及第二筒状部件,所述第二筒状部件固定连接至所述第一筒状部件的内周面,且具有被卡合部,所述被卡合部与设置在所述轴部件的外周面的卡合部卡合。
3.根据权利要求2所述的工业用机器人的手,其中,具备:
轴承,所述轴承内插有所述轴部件,且在所述第一方向上相对于所述轴部件的位置是固定的;
第一驱动部,所述第一驱动部使所述轴承沿所述第一方向移动而使所述轴部件沿所述第一方向移动,以及
第二驱动部,所述第二驱动部使所述第一筒状部件旋转而使所述转动部及所述轴部件连动地转动。
4.根据权利要求3所述的工业用机器人的手,其中,包括:
可动部件,所述可动部件固定连接于所述轴承并通过所述第一驱动部沿所述第一方向移动;以及
位置检测机构,所述位置检测机构检测所述可动部件在所述第一方向上的位置。
5.根据权利要求4所述的工业用机器人的手,其中,
具备将所述第一筒状部件支承为转动自如的框体,
在所述框体内容纳有所述第一驱动部、所述第二驱动部、所述轴承以及所述位置检测机构。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的工业用机器人的手,其中,
装载在所述装载部的晶圆的厚度方向的中心位置和所述轴部件的轴中心一致。
7.一种工业用机器人,其具备:
权利要求1~6中任一项所述的工业用机器人的手;
臂,所述臂支承所述手;以及
臂支承部,所述臂支承部支承所述臂。
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