[发明专利]一种高精度数控多晶硅双端面磨床在审
申请号: | 202111168360.9 | 申请日: | 2021-10-08 |
公开(公告)号: | CN113894634A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 陈怡 | 申请(专利权)人: | 陈怡 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B7/17;B24B7/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/03;B24B55/12 |
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地址: | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 数控 多晶 端面 磨床 | ||
本发明公开了一种高精度数控多晶硅双端面磨床,涉及多晶硅加工技术领域,包括底板与输送带,所述底板的顶部设置有两块固定板,所述固定板之间转动连接有第一转辊,所述固定板之间且位于第一转辊的一端转动连接有第二转辊,该高精度数控多晶硅双端面磨床,通过设置有输送带、安装板与立板,将多晶硅放置在顶柱的顶部,然后电动伸缩杆的伸缩端推动夹板移动,将多晶硅夹住,然后伺服电机的输出端带动第二转辊转动,使得第二转辊通过输送带带动第一转辊转动,使得输送带带动多晶硅移动至第一个打磨机构的下方,然后伺服电机关闭,此时第一个打磨机构对多晶硅端面进行打磨,同时进液机构进行喷液降温,使得一次加工数量增多,提高了效率。
技术领域
本发明涉及多晶硅加工技术领域,具体为一种高精度数控多晶硅双端面磨床。
背景技术
多晶硅的表面要求很高,经过磨削可以提高硅片的加工成品率。但是现有的多晶硅磨床只能够对多晶硅单端面进行加工,需要对多晶硅另一端面进行加工时,需要人工调整多晶硅端面位置,使得加工效率降低,同时现有的磨床在进行打磨的时候,只能一次上一个原料进行打磨,这样加工效率低下。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种高精度数控多晶硅双端面磨床,解决了上述背景技术中提出的问题。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种高精度数控多晶硅双端面磨床,包括底板与输送带,所述底板的顶部设置有两块固定板,所述固定板之间转动连接有第一转辊,所述固定板之间且位于第一转辊的一端转动连接有第二转辊,所述第一转辊与第二转辊通过输送带传动连接,所述输送带的工作面设置有若干个传动箱,所述传动箱的远离输送带的一端均设置有收集箱,所述收集箱内腔设置有限位板,所述限位板的顶部且位于收集箱的外侧设置有安装板,所述安装板的顶部均设置有两块立板,所述立板的一侧均转动连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的伸缩端均设置有夹板,所述立板的另一侧均设置有连接箱,所述立板的另一侧且位于连接箱内部均转动连接有连接杆,所述连接杆的一端均与电动伸缩杆的一端相连接,所述连接杆位于连接箱内部的一端均套设有第一锥齿轮,所述连接箱内腔的另一侧均转动连接有传动杆,所述传动杆的外侧均套设有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮均与第一锥齿轮啮合连接,所述传动杆的一端均延伸至连接箱的外侧并设置有第三传动齿轮,所述安装板的一端且位于两块立板之间均设置有升降箱,所述升降箱内腔的顶部均转动连接有往复丝杆,所述往复丝杆的底端均延伸至安装板内部,所述往复丝杆的外侧均螺纹连接有推块,所述推块的一端均设置有顶柱,所述顶柱的一端均延伸至升降箱的外侧,所述安装板内腔的一侧均转动连接有传动轴,所述传动轴的外侧均套设有第四锥齿轮,所述往复丝杆的底端均设置有第三锥齿轮,所述第三锥齿轮均与第四锥齿轮啮合连接,所述传动轴的一端均延伸至安装板的外侧并套设有第一传动齿轮。
可选的,一块所述固定板的顶部设置有齿条板,所述齿条板一侧的上方设置有第一齿条,所述齿条板一侧的中部设置有第二齿条,所述齿条板一侧的中部且位于第二齿条的一端设置有第三齿条,所述齿条板一侧的下方设置有第四齿条。
可选的,所述传动箱内部均设置有抽液缸,所述抽液缸内部均滑动连接有活塞杆,所述活塞杆的一端均延伸至抽液缸的外侧并设置有推板,所述抽液缸的一端且位于活塞杆的两侧均设置有复位弹簧,所述复位弹簧的一端均与推板的一侧相连接,所述传动箱内腔且位于推板的一侧均转动连接有转动轴,所述转动轴的外侧均套设有凸轮,所述转动轴的外侧而且位于凸轮的下方均套设有第五锥齿轮,所述传动箱内腔的一侧均转动连接有连接轴,所述连接轴的一端均套设有第六锥齿轮,所述第六锥齿轮均与第五锥齿轮啮合连接,所述连接轴的另一端均延伸至抽液缸的外侧并设置有第二传动齿轮,所述抽液缸的一端均设置有吸管,所述吸管的一端均延伸至收集箱内部。
可选的,所述抽液缸的一侧均设置有排管,所述排管的一端均延伸至传动箱的外侧,所述排管与吸管位于抽液缸内部的一端均设置有单向阀。
可选的,所述底板的顶部设置有工作台,所述工作台的顶部设置有磨磨液箱,所述工作台顶部的下方设置有两个打磨机构,所述磨磨液箱的一侧设置有两个进液机构,所述进液机构的一端均与打磨机构相连接。
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