[发明专利]一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法

权利要求书

1.一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

A、将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入镀膜机的真空镀膜腔室内，抽真空后，以硅铝混合物为靶源进行镀膜处理使在蓝宝石玻璃面板的正面进行镀膜形成硅铝镀膜层；

B、关闭硅铝混合物靶源，再打开SiO₂的靶源进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO₂镀膜层；

C、关闭SiO₂靶源，通过将通入的氩气转换成离子束，使离子束打到SiO₂镀膜层的表面进行离子源清洗，再在SiO₂镀膜层的表面进行镀膜处理形成防指纹AF膜层，得到相应的镀膜后的蓝宝石玻璃面板。

2.根据权利要求1所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，步骤A中所述硅铝混合物含有以下质量百分数的成分：二氧化硅：92％～96％；三氧化铝：4.0％～8.0％。

3.根据权利要求1所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，步骤C中所述离子源清洗的时间为5～7min。

4.根据权利要求3所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，步骤C中所述离子源清洗结束后，关闭离子源停留3～5min后，再进行防指纹AF膜层的镀膜处理。

5.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，步骤A中所述硅铝镀膜层的厚度为2～5nm。

6.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，步骤C中所述防指纹AF膜层的镀膜处理采用氟化物的AF药剂进行蒸镀形成。

7.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，步骤A中所述硅铝镀膜层镀膜处理前先进行离子源清洗3～5min。

8.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，步骤B中所述SiO₂镀膜层镀膜结束后，先在SiO₂镀膜层表面镀设一层氧化镍镀膜层。

9.根据权利要求8所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法，其特征在于，所述氧化镍镀膜层的厚度为1～2nm。