[发明专利]一种增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法有效

专利信息
申请号: 202111165390.4 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN113862616B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 颜海平;聂均红;王芳 申请(专利权)人: 台州星星光电科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/28;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10
代理公司: 台州市方信知识产权代理有限公司 33263 代理人: 孙圣贵
地址: 318000 浙江省台州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 增透抗 uv 车载 显示 面板 一次 镀膜 成型 方法
【权利要求书】:

1.一种增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

A、清洗:将清洁后待镀膜的玻璃白片放入镀膜机的真空镀膜腔室内,进行离子源清洗,结束后进入下一步;

B、镀增透抗UV镀膜层:保持真空镀膜腔室抽真空后,先打开二氧化钛靶源,在玻璃白片的正面进行二氧化钛镀膜处理形成相应的镀膜层,关闭二氧化钛靶源;对上述镀膜后的表面进行离子源清洗;然后,再打开二氧化硅靶源,使在二氧化钛镀膜形成的镀膜层表面进行二氧化硅镀膜处理形成相应的镀膜层,再对表面进行离子源清洗;重复交替进行上述二氧化钛镀膜处理和二氧化硅镀膜处理若干次,镀膜过程中通过对每次的镀膜层厚度和总层数的控制,一体成型以二氧化钛镀膜和二氧化硅镀膜交替镀设形成的增透抗UV镀膜层,且形成的增透抗UV镀膜层对可见光的反射率≤1%,对紫外光的透光率≤8%;

C、镀AF膜层:关闭二氧化硅的靶源,再打开AF靶源进行蒸镀处理使在增透抗UV镀膜层表面形成AF膜层,得到相应的镀膜后的车载显示面板。

2.根据权利要求1所述增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,步骤B中所述增透抗UV镀膜层从内到外依次为:厚度为19nm~20nm的二氧化钛镀膜层一、厚度为41nm~43nm的二氧化硅镀膜层一、厚度为39.0nm~39.5nm的二氧化钛镀膜层二、厚度为46nm~47nm的二氧化硅镀膜层二、厚度为28.0nm~28.5nm的二氧化钛镀膜层三、厚度为62nm~63nm的二氧化硅镀膜层三、厚度为33nm~34nm的二氧化钛镀膜层四、厚度为37nm~38nm的二氧化硅镀膜层四、厚度为34nm~35nm的二氧化钛镀膜层五和厚度为107nm~108nm的二氧化硅镀膜层五。

3.根据权利要求2所述增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,所述增透抗UV镀膜层从内到外依次为:厚度为19.56nm的二氧化钛镀膜层一、厚度为42.25nm的二氧化硅镀膜层一、厚度为39.31nm的二氧化钛镀膜层二、厚度为46.25nm的二氧化硅镀膜层二、厚度为28.2nm的二氧化钛镀膜层三、厚度为62.2nm的二氧化硅镀膜层三、厚度为33.41nm的二氧化钛镀膜层四、厚度为37.56nm的二氧化硅镀膜层四、厚度为34.41nm的二氧化钛镀膜层五和厚度为107nm的二氧化硅镀膜层五。

4.根据权利要求1-3任意一项所述增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,步骤B中所述二氧化钛靶源的二氧化钛中掺杂有Ce和Cu金属元素,且所述Ce金属元素的掺杂量为0.15%~0.25%,所述Cu金属元素的掺杂量为0.05%~0.10%。

5.根据权利要求1-3任意一项所述增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,步骤C中所述AF膜层采用抗UV的AF材料制成。

6.根据权利要求5所述增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,步骤C中所述AF膜层蒸镀时在紫外光照射下进行。

7.根据权利要求1-3任意一项所述增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,步骤A中所述离子源清洗是通过将氩气通入真空镀膜腔室内转化成等离子体形成离子束,使离子束打到玻璃白片正面进行清洗5min~8min。

8.根据权利要求1-3任意一项所述增透抗UV车载显示面板的一次镀膜成型方法,其特征在于,所述玻璃白片的材料为PMMA、亚克力或有机玻璃。

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