[发明专利]表面缺陷的周期性规律实时判定方法在审

专利信息
申请号: 202111164216.8 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN113933312A 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 许俊炜;葛铭;沈井学;魏江 申请(专利权)人: 杭州百子尖科技股份有限公司
主分类号: G01N21/892 分类号: G01N21/892;G06T7/00
代理公司: 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人: 沈敏强
地址: 310023 浙江省杭州市余杭区*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 表面 缺陷 周期性 规律 实时 判定 方法
【权利要求书】:

1.一种表面缺陷的周期性规律实时判定方法,其特征在于:

S1、获取预设的横向误差范围ΔH、纵向误差范围ΔL、周期性最小缺陷数量M、允许跳空数量E、最大辊筒的周长Smax和最小辊筒的周长为Smin;

S2、获取表面缺陷检测系统检测出的最新缺陷Fn的缺陷结构化数据,缺陷结构化数据包括横向坐标CD、纵向坐标MD和缺陷分类Class;

S3、将最新缺陷Fn加入缺陷缓存列表;

S4、将Fn与周期性趋势缓存列表中的趋势匹配计算,若匹配满足任一趋势则将相应趋势加入相应周期性趋势缓存列表,结束本次计算;若不能匹配任一趋势则继续执行S5;

S5、将最新缺陷Fn与缺陷缓存列表中在先已加入的缺陷基于缺陷结构化数据及所述横向误差范围ΔH、纵向误差范围ΔL、周期性最小缺陷数量M、允许跳空数量E、最大辊筒的周长Smax和最小辊筒的周长为Smin进行周期性数据匹配,若匹配满足任一趋势则将相应趋势加入相应周期性趋势缓存列表。

2.根据权利要求1所述的表面缺陷的周期性规律实时判定方法,其特征在于,步骤S4的匹配方法包括

S41、获取趋势T中的最新一个缺陷Ft,趋势T的周期性长度为D,

S42、若Fn与Ft的横向坐标差介于-ΔH与ΔH之间,且Fn与Ft的纵向坐标差介于D-ΔL和D+ΔL之间,则Fn匹配该趋势T,加入趋势T的缺陷列表,Fn为T的最新缺陷;若不满足则视为不匹配趋势T。

3.根据权利要求1所述的表面缺陷的周期性规律实时判定方法,其特征在于,步骤S5包括:

S51、基于最新缺陷Fn的纵、横向坐标,在材料表面划定横向坐标CD±ΔH范围、长度为(M+E)*Smax+ΔL的计算区域;

S52、从所述缺陷缓存列表中筛选出位于该计算区域内的在先已加入缺陷;

S53、从筛选出的在先已加入缺陷中进一步筛选出与最新缺陷Fn缺陷分类相同的缺陷,并将进一步筛选出的缺陷与最新缺陷Fn按倒序建立同类缺陷列表FList[Fn,Fn-1,...,F1,F0];

S54、根据最新缺陷Fn与FList中其余缺陷之间的纵向距离与最大辊筒的周长Smax和最小辊筒的周长为Smin的关系,结合周期性最小缺陷数量M和允许跳空数量E判断是否存在周期性规律,若存在则将相应趋势加入相应周期性趋势缓存列表。

4.根据权利要求3所述的表面缺陷的周期性规律实时判定方法,其特征在于,步骤S54包括:

S541、依次计算最新缺陷Fn与FList中缺陷Fi-1之间的纵向距离D(n-(i-1)),i依次为n、n-1、...、1;

若D(n-(i-1))Smax,结束本次运算;若D(n-(i-1))Smin,用FList中下一缺陷进行计算;若D在Smin~Smax范围内,建立新的临时周期性趋势T,包括长度为D(n-(i-1))、缺陷计数为M(n-(i-1))、跳空E(n-(i-1))

S542、调用预置函数Find,传入参数FList、MD(n-(i-1))、j、T,其中j=i-1,MD(n-(i-1))=Fj-1纵坐标;

S543、判断经Find执行后的周期性趋势T,若执行后的周期性趋势T中M(n-(i-1))=M且E(n-(i-1))=E,则发现新的周期性规律,将执行后的周期性趋势T加入到周期性趋势缓存列表,结束判定流程;否则返回步骤S441,用FList中下一缺陷进行计算。

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