[发明专利]一种适用于等离子体高压高频电源的防爆装置和方法

权利要求书

1.一种适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，包括：

主腔体(1)，所述主腔体(1)内设置有电源组件(21)和高热器件油箱组件(31)；

设置在所述主腔体(1)的前端的前散热盖板(2)，所述前散热盖板(2)的内侧连接所述电源组件(21)；

设置在所述主腔体(1)的后端的后散热盖板(3)，所述后散热盖板(3)的内侧连接所述高热器件油箱组件(31)；

其中，所述主腔体(1)为所述电源组件(21)和所述高热器件油箱组件(31)提供符合防爆要求的空间。

2.根据权利要求1所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，所述主腔体(1)为不锈钢材质的方形筒状的结构，所述前散热盖板(2)和所述后散热盖板(3)为表面进行氧化处理的铝合金板。

3.根据权利要求2所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，所述前散热盖板(2)上设置有若干前散热翅片(23)，所述后散热盖板(3)上设置有若干后散热翅片(32)，所述前散热翅片(23)和所述后散热翅片(32)的排布方向与风道的方向保持一致。

4.根据权利要求2所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，所述后散热翅片(32)长于所述前散热翅片(23)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，所述电源组件(21)与所述前散热盖板(2)之间涂覆有导热硅脂(22)。

6.根据权利要求5所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，导热硅脂(22)的导热系数最低要求为10W/m·k。

7.根据权利要求6所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，所述主腔体(1)的侧面设置有电缆接口(11)，所述电缆接口(11)上设置有防爆电缆过线装置(12)。

8.根据权利要求7所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置，其特征在于，所述前散热盖板(2)通过螺栓与所述主腔体(1)进行连接，所述前散热盖板(2)与所述主腔体(1)的接触面涂抹有密封硅脂；所述前散热盖板(2)上还设置有前盖板把手(24)。

9.一种适用于等离子体高压高频电源的防爆方法，其特征在于，包括：组装根据权利要求1至8中任一项所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆装置；

通过所述适用于等离子体高压高频电源的防爆装置对电源组件(21)和高热器件油箱组件(31)进行防爆处理。

10.根据权利要求9所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆方法，其特征在于，组装所述适用于等离子体高压高频电源的防爆装置的方法包括：

将高热器件去除水分并通过绝缘材料固定在高热器件油箱内，并与所述后散热盖板(3)相连；

将电源组件(21)安装在前散热盖板(2)上；

将主腔体(1)、前散热盖板(2)和后散热盖板(3)组装，并确保密封完好。

11.根据权利要求10所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆方法，其特征在于，所述油箱中发热元器件通过绝缘材料固定在高热器件油箱后填充绝缘油，所述绝缘有为3号航天油。

12.根据权利要求11所述的适用于等离子体高压高频电源的防爆方法，其特征在于，去除水分的方式为高温烘烤，烘烤的温度在60—85℃范围内；

填充绝缘油时，向高热器件油箱倒入导热油并确保导热油浸没谐振电感整体，然后用螺栓将油箱盖板进行紧固，并在前散热盖板与所述主腔体之间添加密封硅脂。