[发明专利]一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统

权利要求书

1.一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统，包括： 气体入口（1），供原料气体进入；

精馏提纯单元，用于从原料气体中分离出六氟化硫，具有用于向外排出尾气的尾气出口；

其特征在于，包括：尾气处理单元，用于将从精馏提纯单元中排出的尾气中的六氟化硫气体回收，包括与尾气出口连接的六氟化硫循环回收气路和用于排出废气的废气排出管路；六氟化硫循环回收气路上串设有膜分离器（57）和六氟化硫回收罐（64），膜分离器（57）包括过滤废气并供六氟化硫气体通过的渗透膜，膜分离器（57）具有供尾气进入的膜分离器进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口，膜分离器第一出口与六氟化硫回收罐（64）的进气口连接，膜分离器第二出口与废气排出管路连接；六氟化硫回收罐（64）具有回收罐第一出口和回收罐第二出口，回收罐第一出口与膜分离器进气口连接，以实现对六氟化硫回收罐（64）内的气体进行循环过滤，回收罐第二出口与气体入口（1）连接，以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口（1）并进行再次精馏提纯。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，六氟化硫回收罐（64）的进气口和回收罐第二出口位于六氟化硫回收罐（64）的底部或者靠近底部的位置处，回收罐第一出口位于六氟化硫回收罐（64）的顶部或者靠近顶部的位置处，六氟化硫回收罐（64）上设有用于检测六氟化硫回收罐（64）内液位高度的液位传感器，回收罐第二出口与气体入口（1）之间设有回收罐排液阀，所述回收罐排液阀在六氟化硫回收罐（64）内的液位高度超过回收罐第二出口高度且达到设定高度阈值时打开，以将六氟化硫回收罐（64）内回收的六氟化硫排放至气体入口（1）。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，废气排出管路包括精馏提纯单元连接支路和膜分离器（57）连接支路，精馏提纯单元连接支路上设有精馏提纯单元连接支路尾气排放阀（66），膜分离器（57）连接支路上设有膜分离器单向阀（59）。

4.根据权利要求1所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，六氟化硫循环回收气路的靠近膜分离器进气口的位置依次串接有减压器和加热器，六氟化硫循环回收气路的靠近膜分离器第一出口的位置串接有膜分离器背压阀（60）。

5.根据权利要求4所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，六氟化硫循环回收气路于膜分离器（57）与六氟化硫回收罐（64）之间连接有尾气回收压缩机（62）和尾气回收压缩机单向阀（63）。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，所述精馏提纯单元包括至少两级精馏塔，前一级的精馏塔的塔底通过塔间连通管路与下一级的精馏塔的中部连通，塔间连通管路上设有塔间截止阀（36），各级精馏塔顶部的出口构成尾气出口。

7.根据权利要求6所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，包括储液单元，储液单元包括储液罐（41）和与储液罐（41）连接的灌瓶管路，储液罐（41）与最后一级精馏塔（34）通过进液管路连接，进液管路上连接有进液阀（42）。

8.根据权利要求7所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，灌瓶管路上设有储液罐压力传感器（44）、注液泵（46）、注液泵前端电磁阀、注液泵排液单向阀（52）。

9.根据权利要求1-5任意一项所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，包括位于精馏提纯单元与气体入口（1）之间的气化加压单元和分解产物和水分处理单元，所述气化加压单元包括气化罐（6）、压缩机、压缩机缓冲罐（14）、增压泵（10），分解产物和水分处理单元包括吸附塔组件和吸附单元缓冲罐（26）。

10.根据权利要求1-5任意一项所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，包括抽真空单元，抽真空单元分别与气体入口（1）、尾气处理单元连接，六氟化硫回收罐（64）的回收罐第二出口通过抽真空单元的管路与气体入口（1）连接。