[发明专利]粉体包覆反应器、超声流化原子层沉积包覆装置及其应用

权利要求书

1.一种超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，包括前驱体供给机构、粉体流化包覆机构、超声振动机构和缓冲机构，所述粉体流化包覆机构包括粉体包覆反应器，所述粉体包覆反应器包括反应筒和多个传振片，所述反应筒的两端具有开口，所述反应筒的侧壁上开设有多个第一通孔，多个所述传振片依次间隔设置于所述反应筒内，每个所述传振片的边缘密封连接于所述反应筒的内壁，多个所述传振片将所述反应筒的内腔分隔为沿一端开口至另一端开口方向上依次分布的多个子腔体，所述传振片上设置有用于供粉体在该传振片相邻的两个子腔体之间通过的第二通孔；

所述前驱体供给机构用于向所述粉体包覆反应器中导入包覆层物质的前驱体，所述超声振动机构包括一个或多个振动杆，所述缓冲机构包括一个或多个缓冲杆，所述振动杆和所述缓冲杆的总数量与所述粉体包覆反应器中的所述第一通孔的总数量相同，在装配使用时各所述振动杆和各所述缓冲杆分别连接于不同的所述第一通孔。

2.根据权利要求1所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，在多个所述传振片中，所述传振片的厚度由所述反应筒的其中一端开口至相对的另一端开口的方向逐渐增加。

3.根据权利要求1所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，所述传振片有两个。

4.根据权利要求1所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，所述传振片上设置有多个所述第二通孔，多个所述第二通孔呈阵列状分布。

5.根据权利要求1～4任一项所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，所述反应筒为两端具有外翻折边的空心柱状。

6.根据权利要求1～4任一项所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，所述第一通孔设置于两个所述传振片之间。

7.根据权利要求1～4任一项所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，所述第一通孔有多个，多个所述第一通孔构成一组或多组所述第一通孔，其中每组包括两个在所述反应筒的侧壁上呈相对位置分布的所述第一通孔。

8.根据权利要求7所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，所述第一通孔有两个。

9.根据权利要求1～4任一项所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，还包括间隔片，所述间隔片设置于所述反应筒内且由一端开口向另一端开口的方向延伸，所述间隔片用于将各所述子腔体均分为多个反应室。

10.根据权利要求1～4任一项所述的超声流化原子层沉积包覆装置，其特征在于，所述反应筒的内径为80mm～150mm。

11.根据权利要求1～10任一项所述的超声流化原子层沉积包覆装置在制备电极活性物质中的应用。

12.一种电极活性物质的制备方法，采用根据权利要求1～10任一项所述的超声流化原子层沉积包覆装置制备，其特征在于，包括如下步骤：

向所述粉体包覆反应器的反应筒中加入待包覆的粉体；

通过所述前驱体供给机构向所述粉体包覆反应器中导入包覆层物质的前驱体，并启动超声振动机构，使所述振动杆发生振动；

使所述前驱体形成包覆于所述粉体表面的包覆层。

13.根据权利要求12所述的电极活性物质的制备方法，其特征在于，在使所述振动杆发生振动的过程中，控制所述振动杆进行间歇式振动，单次振动时间为20s～60s，相邻两次振动间隔时间为10s～30s。