[发明专利]发光基板的制作方法及发光基板有效
申请号: | 202111161926.5 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113921555B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 白雪 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/50;G03F7/20 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 制作方法 | ||
本申请实施例公开了一种发光基板的制作方法及发光基板,该发光基板的制作方法包括以下步骤:在一衬底基板上形成多个LED芯片,相邻LED芯片之间具有间隔区;在衬底基板上形成黑色光阻层,以覆盖多个LED芯片以及多个间隔区;对黑色光阻层进行第一次曝光处理,以减少位于多个LED芯片正上方的黑色光阻层中的无机物;对黑色光阻层进行第二次曝光处理,以固化黑色光阻层。该发光基板的制作方法通过对黑色光阻层进行第一次曝光处理,以减少位于多个LED芯片正上方的黑色光阻层中的无机物,从而增大LED芯片的出光亮度,增大能效,可以解决LED芯片出光亮度不均的问题。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种发光基板的制作方法及发光基板。
背景技术
Micro Led(Micro Light Emitting Diode,微型发光二极管)技术已成为成未来显示技术的热点之一,和目前的LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)、OLED(Organic Light Emitting Diode,有机发光二极管)显示器件相比,具有反应快、高色域、高解析度、低能耗等优势;Mini-LED(Mini Light Emitting Diode,小间距发光二极管)作为Micro-LED与背板结合的产物,具有高对比度、高显色性能等可与OLED相媲美的特点,成本稍高于LCD,但仅为OLED的六成左右,且相对Micro-LED、OLED更易实施,所以Mini-LED成为各大面板厂商布局热点。
Micro Led/Mini Led技术为LED微缩化和矩阵化技术,指的是在一个芯片上集成高密度、微小尺寸的LED阵列的技术,以将像素点的距离从毫米级降低至微米级,甚至是纳米级。具体地,阵列基板上设置有多个LED芯片,由于阵列基板上排布的LED芯片的芯片数量巨大,且LED芯片的尺寸在微米级别上,LED芯片与LED芯片之间的间距也比较小,如果MicroLed/Mini Led的LED芯片之间未建立阻挡层或阻挡层的透过率较高,LED芯片发出的朗伯光型会引起相邻像素的量子点色彩转换层被激发,从而发生光串扰,会大大降低显示的色域。
现有技术中常使用黑色阻挡层来阻挡像素之间光串扰,黑色阻挡层采用整面喷凃后去除表面黑胶的工艺涂敷,但是,由于Micro Led/Mini Led芯片自身及绑定焊料的高度差,LED芯片之间的高度差大概在20微米左右,使部分LED芯片表面在研磨后仍有大量黑胶覆盖而导致LED芯片的出光亮度不均,大量光被覆盖在LED芯片表面的黑胶阻挡层吸收,能效较低,严重影响Micro Led/Mini Led发光基板的品质。
发明内容
本申请提供一种发光基板的制作方法及发光基板,该发光基板的制作方法通过在掩膜下对LED芯片正上方的黑色光阻进行预固化,使LED芯片表面的黑色光阻减少,增大LED芯片出光亮度,增大能效,解决了LED芯片出光亮度不均的问题。
第一方面,本申请实施例提供一种发光基板的制作方法,包括:
在一衬底基板上形成多个LED芯片,相邻所述LED芯片之间具有间隔区;
在所述衬底基板上形成黑色光阻层,以覆盖多个所述LED芯片以及多个所述间隔区;
对所述黑色光阻层进行第一次曝光处理,以减少位于多个所述LED芯片正上方的所述黑色光阻层中的无机物;
对所述黑色光阻层进行第二次曝光处理,以固化所述黑色光阻层。
可选地,在本申请的一些实施例中,所述在所述衬底基板上形成黑色光阻层,以覆盖多个所述LED芯片以及多个所述间隔区的步骤,具体包括:对所述黑色光阻进行平坦化处理,以使所述黑色光阻层填充所述间隔区。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的