[发明专利]一种温度压力一体化传感器在审
申请号: | 202111157492.1 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113916287A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 丁云;李资庭;周旭东;吴伟康 | 申请(专利权)人: | 杭州云谷科技股份有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01D11/00;G01D11/16 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林松海 |
地址: | 310052 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 温度 压力 一体化 传感器 | ||
1.一种温度压力一体化传感器,其特征在于:包括传感器本体、第一温度传感器、隔离膜片、压力传感器、基座;所述传感器本体的前部表面设置有隔离膜片并具有间隙,隔离膜片用于传递压力信号,传感器本体的后部设置有放置压力传感器和基座的腔体,基座覆盖腔体的开口,压力传感器位于腔体内且固定在基座上,传感器本体的前部和后部之间设置有水平方向的通孔,且通孔、隔离膜片和传感器本体之间的间隙,以及传感器本体后部的腔体,构成连通的引压空间,引压空间内填充有液体,以便将隔离膜片上的压力信号传递到压力传感器;所述传感器本体设有与通孔平行的测温孔,测温孔的一端位于传感器本体的前部,且封闭,另一端位于传感器本体的后部,且开口,第一温度传感器位于测温孔内,且接近隔离膜片。
2.如权利要求1所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述传感器本体内进一步设置有第二温度传感器,所述第二温度传感器和第一传感器保持距离,用于修正第一温度传感器的测量误差。
3.如权利要求2所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述第二温度传感器位于测温孔内。
4.如权利要求1或者3所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述测温孔内进一步包含印刷电路板,第一温度传感器固定在印刷电路板上;所述第二温度传感器固定在印刷电路板上。
5.如权利要求4所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述基座的针脚固定在印刷电路板上,所述基座焊接在传感器本体的空腔开口处,且密封。
6.如权利要求1所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述液体为硅油或氟油,以便将隔离膜片受到的压力信号准确的传递到压力传感器。
7.如权利要求1所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述传感器本体采用不锈钢材料,所述传感器本体进一步设置有固定螺纹。
8.如权利要求1所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述隔离膜片的边缘焊接在传感器本体的前部表面且密封,所述隔离膜片采用不锈钢材料。
9.如权利要求1所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述基座包含针脚,以便于将压力传感器的信号传输至外部。
10.如权利要求1所述的一种温度压力一体化传感器,其特征在于:所述压力传感器和基座之间采用胶水固定,所述压力传感器为硅电阻或硅电容式的压力传感器。
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