[发明专利]一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构

权利要求书

1.一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：绝缘遮蔽结构包括紧固件基体(4)、压电层(3)、绝缘保护层(2)、金属电极层(1)，压电层(3)、绝缘保护层(2)、金属电极层(1)依次设置在紧固件基体(4)端面上，所述紧固件基体(4)中间设有中心孔(7)，金属电极层(1)在中心孔的外侧依次设有内绝缘环(6)和外绝缘环(5)，内绝缘环(6)和外绝缘环(5)与中心孔(7)同轴；

上述空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，包括如下步骤：

S1:在紧固件基体(4)进行压电层(3)和绝缘保护层(2)的制备；

S2：通过激光加工的方式在粘附于耐高温板的高分子耐热胶上制备一定尺寸的内绝缘环模具和外绝缘环模具；

S3：在金属电极层(1)沉积之前检测试样电阻，合格后将双绝缘遮蔽环模具按要求贴附在加工端面上，注意保持同轴度；

S4：在金属电极层(1)沉积后，将内绝缘环模具和外绝缘环模具去除，完成传感器制备。

2.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：所述外绝缘环(5)内壁与内绝缘环(6)外壁之间的距离至少为1.5mm。

3.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：所述外绝缘环(5)和内绝缘环(6)的宽度均为1-3mm。

4.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：所述紧固件基体(4)为螺栓，内绝缘环(6)的内环直径至少为中心孔的孔径，外绝缘环(5)的内环直径不超过螺栓的螺纹小径。

5.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：所述内绝缘环(6)和外绝缘环(5)与中心孔(7)的同轴度最大为0.1mm。

6.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：所述金属电极层(1)厚度至少为2μm。

7.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：在S1中使用的高分子耐热胶的受热温度为最少为300℃，厚度最少为0.05mm。

8.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：在S1中的激光加工的激光速率为15-20mm/s，激光功率为70％-90％，激光频率为19-21kHz。

9.根据权利要求1所述的一种用于空心类紧固件超声传感器加工中的绝缘遮蔽结构的加工方法，其特征在于：所述耐高温板包括有机玻璃板、环氧树脂板。