[发明专利]一种全光纤端面集成最小化温度液压传感器及其构建方法

权利要求书

1.一种全光纤端面集成最小化温度液压传感器，其特征在于：包括膜层（1）、空芯光纤（2）、光纤光栅结构（3）、单模光纤（4），所述空芯光纤（2）为上部开口的空心柱体结构，空芯光纤（2）布置于单模光纤（4）的上端，所述膜层（1）覆盖于空芯光纤（2）的开口端，所述空芯光纤（2）、光纤光栅结构（3）、单模光纤（4）形成F-P腔；所述单模光纤（4）为空心的光纤，光纤光栅结构（3）位于单模光纤（4）的轴心处。

2.根据权利要求1所述的一种全光纤端面集成最小化温度液压传感器，其特征在于：所述光纤光栅结构（3）的长度为10μm-10mm。

3.根据权利要求1所述的一种全光纤端面集成最小化温度液压传感器，其特征在于：所述F-P腔的长度为0.1μm-1000μm。

4.根据权利要求1所述的一种全光纤端面集成最小化温度液压传感器，其特征在于：所述膜层（1）的厚度约为50nm-10μm。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种全光纤端面集成最小化温度液压传感器及其构建方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将空芯光纤（2）切割或腐蚀成适当的长度，大致长度范围为0.1μm-1000μm，将单模光纤（4）用氢氟酸腐蚀做表面平整度处理；

步骤二：将处理好的空芯光纤（2）与处理好的单模光纤（4）熔接起来；

步骤三：将膜层（1）与熔接好的空芯光纤（2）的另一端熔接起来，形成F-P腔结构；

步骤四：将膜层（1）利用氢氟酸腐蚀的方法处理，通过腐蚀时间控制膜厚，以达到我们所需要的要求；

步骤五：在光纤的一端端口处利用高强度的飞秒激光脉冲或者紫外光直接照射相位掩模形成衍射条纹曝光光敏光纤，从而形成周期性的光纤光栅结构（3），从而制作出所需要的FBG。