[发明专利]一种合金高纯铜靶材的制备方法

权利要求书

1.一种合金高纯铜靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括对坯料依次进行的第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、第三锻伸处理、第四锻伸处理、静压处理、压延处理以及第四热处理。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一锻伸处理为将所述坯料拔长至原长度的170～200％，在镦粗至原长度；

优选地，所述第一锻伸处理至少重复3次；

优选地，所述第一锻伸处理的温度为890～910℃。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述第一热处理的温度为540～560℃；

优选地，所述第一热处理的时间为25～35min。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述第二锻伸处理为将所述坯料拔长至原长度的170～200％，在镦粗至原长度；

优选地，所述第二锻伸处理至少重复3次；

优选地，所述第二锻伸处理的温度为890～910℃。

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述第二热处理的温度为540～560℃；

优选地，所述第二热处理的时间为25～35min。

6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述第三锻伸处理为将所述坯料拔长至原长度的170～200％，在镦粗至原长度；

优选地，所述第三锻伸处理至少重复3次；

优选地，所述第三锻伸处理的温度为890～910℃。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述第四锻伸为将所述第三锻伸处理拔长后的坯料镦粗至原长度的105～135％。

8.根据权利要求1-7任一项所述的制备方法，其特征在于，所述第三热处理的温度为540～560℃；

优选地，所述第三热处理的时间为25～35min。

9.根据权利要求1-8任一项所述的制备方法，其特征在于，所述静压处理为将所述坯料压延至原长度的60～80％；

优选地，所述压延处理为将所述坯料压延至原长度的11.0～14.5％；

优选地，所述第四热处理的温度为490～510℃；

优选地，所述第四热处理的时间为55～65min。

10.根据权利要求1-9任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括对坯料依次进行：

第一锻伸处理，所述第一锻伸处理为将所述坯料拔长至原长度的170～200％，在镦粗至原长度，重复至少3次，温度为890～910℃；

第一热处理，所述第一热处理的温度为540～560℃，时间为25～35min；

第二锻伸处理，所述第二锻伸处理为将所述坯料拔长至原长度的170～200％，在镦粗至原长度，重复至少3次，温度为890～910℃；

第二热处理，所述第二热处理的温度为540～560℃，时间为25～35min；

第三锻伸处理，所述第二锻伸处理为将所述坯料拔长至原长度的170～200％，在镦粗至原长度，重复至少3次，温度为890～910℃；

第四锻伸处理，所述第四锻伸为将所述第三锻伸处理拔长后的坯料镦粗至原长度的105～135％；

静压处理，所述静压处理为将所述坯料压延至原长度的60～80％；

压延处理，所述压延处理为将所述坯料压延至原长度的11.0～14.5％；

第四热处理，所述第四热处理的温度为490～510℃，时间为55～65min。