[发明专利]一种快速响应的静电吸附装置及静电吸附方法

权利要求书

1.一种快速响应的静电吸附装置，其特征在于,包括,

静电吸附单元（30），所述静电吸附单元（30）包括第一电极（34）和第二电极（32）；

供电单元，所述供电单元包括供电电容（10）；

解吸单元，所述解吸单元包括平行极板（20），平行极板（20）包括平行设置的第一极板（21）和第二极板（23），其中，第二极板（23）与供电电容（10）相连，导电悬臂梁（24）的一端设置为固定端，另一端设置为自由端，自由端至少部分置于第一极板（21）和第二极板（23）之间，并且自由端能够被第一极板（21）和第二极板（23）激励而产生振动；导电悬臂梁（24）的固定端在平行极板（20）之外，自由端能够在第一极板（21）和第二极板（23）之间振动且在最大振幅处能够接触到两侧极板；

其中，当静电吸附装置执行吸附操作时，供电电容（10）对第一电极（34）和第二电极（32）供电；当静电吸附装置执行解吸操作时，解吸单元与第一电极（34）和第二电极（32）相连；解吸单元的第一极板（21）与第二电极（32）的第二电极端子（25）相连。

2.根据权利要求1所述的一种快速响应的静电吸附装置，其特征在于，还包括：

第一电极（34）和第二电极（32）均采用梳齿型结构，且两者互相嵌入对方的梳齿间隙中。

3.根据权利要求1所述的一种快速响应的静电吸附装置，其特征在于，供电单元与解吸单元择一接入静电吸附单元（30）所在电路中，从而实现静电吸附或解吸操作。