[发明专利]一种薄膜水汽透过率测试设备及测试方法

权利要求书

1.一种薄膜水汽透过率测试设备，包括测试仪（4），其特征在于：所述测试仪（4）内部的腔体（7）中设有阻隔膜（5）和PEN基板（6），所述阻隔膜（5）设置于PEN基板（6）上端表面；

所述测试仪（4）内部的腔体（7）外设有测试机构，所述测试机构包括CCD捕捉镜头（1）和金刚石压头（2），所述CCD捕捉镜头（1）和金刚石压头（2）均安装在压头升降机构（3）上。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜水汽透过率测试设备，其特征在于：所述CCD捕捉镜头（1）用于检测金刚石压头（2）对阻隔膜（5）下压时的图像，观察阻隔膜（5）表面是否到了极限破坏的程度，进而确定压头升降机构（3）下压压力的合适梯度，并获取在阻隔膜（5）在快要破坏时的下压压力。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜水汽透过率测试设备，其特征在于：所述金刚石压头（2）在阻隔膜（5）表面分别采用不同的压力下压阻隔膜（5），阻隔膜（5）在不同压力的压缩下，分别显现出不同程度的压痕深度，CCD捕捉镜头（1）可采用高倍镜分别比对阻隔膜（5）的压痕深度，当压痕深度过大，阻隔膜（5）将会被破坏而压裂。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜水汽透过率测试设备，其特征在于：所述测试仪（4）一侧设有氮气进口（8）和氮气排出口（9），另一侧设有水蒸气入口（10）和水蒸气排出口（11），所述氮气排出口（9）处安装有水汽检测传感器。

5.一种权利要求1-4任意一项所述的薄膜水汽透过率测试设备的测试方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

S1、由于同一阻隔膜（5）的硬度相同，根据相同的下压压强对阻隔膜（5）的压痕效果是一样的，压强的大小P为用载荷值除以阻隔膜（5）表面压痕凹坑的表面积；

S2、采用压头升降机构（3）在金刚石压头（2）施加的力为F1，在阻隔膜（5）表面形成压痕得到一个正方形图，该正方形压痕的表面积为S1，该阻隔膜（5）此处受到的压强P=F1/S1，并且该压强下对应一最优的压痕状态，此时对应最优的下压压强P；

S3、压头升降机构（3）给予测试仪（4）上下两部分一个固定的压力F2，在工件表面压出一定尺寸压痕表面积S2，由于压头升降机构（3）在工件表面的压痕尺寸S2的面积一定，且量测的阻隔膜（5）硬度不变，即最优压痕状态对应相同的下压压强P，P=F2/S2，F2/S2=F1/S1，F2=F1/（S1×S2），可计数出压头升降机构（3）给予测试仪（4）上下两部分最合适的压力值，即保证了阻隔膜（5）不会被破坏而压裂，也保证了合适的压力，完全压紧了工件，阻挡水氧从压合缝隙处渗透干扰水氧透过率的准确性。