[发明专利]精准调整ADC相机的方法、装置、设备及计算机存储介质

说明书

本发明实施例公开了一种精准调整ADC相机的方法、装置、设备及计算机存储介质；所述方法包括：在当前单晶硅棒拉制前，通过分别比较所述当前单晶硅棒与上一炉单晶硅棒对应的热场配件的变化，获取直径自动控制ADC相机距离熔体固液界面的高度变化值；基于所述高度变化值与所述ADC相机的水平位移量之间的几何关系，根据所述高度变化值，获取所述ADC相机的水平位移量；根据所述ADC相机的水平位移量，水平移动所述ADC相机至目标位置。

技术领域

本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种精准调整ADC相机的方法、装置、设备及计算机存储介质。

背景技术

电子级单晶硅棒作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件。目前常见的单晶硅棒的生长方法是切克劳斯基(Czochralski)法，又或被称之为直拉法，即在单晶炉中，使籽晶浸入容置于坩埚的熔硅液中，在转动籽晶及坩埚的同时提拉籽晶，以在籽晶末端依次进行引晶、放肩、转肩、等径及收尾等工艺操作，从而获得单晶硅棒。目前，为了获得满足不同用途的电子级晶圆需要工艺人员利用不同的热场以及工艺条件来制备不同的单晶硅棒。

等径阶段是长晶过程中极为重要的工艺过程，也是保证单晶硅棒品质的关键，而在等径阶段的初期快速且有效地达到所需要的单晶硅棒的生长直径是十分必要的。然而由于单晶硅棒的不同需求，通常需要对单晶炉热场配件进行一定程度地调整。由于热场配件的调整是为了保证单晶硅棒的生长直径，因此随着热场配件的调整直径自动控制(Automatic Diameter Control，ADC)相机也要做出相应地调整。在常规技术方案中，对于ADC相机的调整位置，一般是在将要进入或者已经进入等径阶段时通过实际标尺测量得到，在这种情况下ADC相机的调整具有一定的延迟性并且需要反复进行调整才能将ADC相机调整至设定的位置以监测单晶硅棒的生长直径。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例期望提供一种精准调整ADC相机的方法、装置、设备及计算机存储介质；能够在调整热场配件后精确且及时确定ADC相机的调整位置，以使得单晶硅棒从等径阶段初期快速稳定地进入等径阶段，从而提升单晶硅棒等径阶段初期的品质。

本发明实施例的技术方案是这样实现的：

第一方面，本发明实施例提供了一种精准调整ADC相机的方法，所述方法包括：

在当前单晶硅棒拉制前，通过分别比较所述当前单晶硅棒与上一炉单晶硅棒对应的热场配件的变化，获取直径自动控制ADC相机距离熔体固液界面的高度变化值；

基于所述高度变化值与所述ADC相机的水平位移量之间的几何关系，根据所述高度变化值，获取所述ADC相机的水平位移量；其中，所述水平位移量为第一水平位移量或第二水平位移量；

根据所述ADC相机的水平位移量，水平移动所述ADC相机至目标位置。

第二方面，本发明实施例提供了一种精准调整ADC相机的装置，所述装置包括：第一获取部分，第二获取部分以及移动部分；其中，

所述第一获取部分，经配置在在当前单晶硅棒拉制前，通过分别比较所述当前单晶硅棒与上一炉单晶硅棒对应的热场配件的变化，获取直径自动控制ADC相机距离熔体固液界面的高度变化值；

所述第二获取部分，经配置为基于所述高度变化值与所述ADC相机的水平位移量之间的几何关系，根据所述高度变化值，获取所述ADC相机的水平位移量；其中，所述水平位移量为第一水平位移量或第二水平位移量；

所述移动部分，经配置为根据所述ADC相机的水平位移量，水平移动所述ADC相机至目标位置。

第三方面，本发明实施例提供了一种精准调整ADC相机的设备，其特征在于，所述设备包括：通信接口，存储器和处理器；各个组件通过总线系统耦合在一起；其中，

所述通信接口，用于在与其他外部网元之间进行收发信息过程中，信号的接收和发送；