[发明专利]还原炉内硅棒检测方法及系统、装置、介质及电子设备在审

专利信息
申请号: 202111123872.3 申请日: 2021-09-24
公开(公告)号: CN113834585A 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 郭天宇;姚心;欧阳冰玉;贺迪龙 申请(专利权)人: 中国恩菲工程技术有限公司
主分类号: G01K13/00 分类号: G01K13/00;G06K9/62;G06T7/00;G06T7/80
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 孙宝海;袁礼君
地址: 100038*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 还原 炉内硅棒 检测 方法 系统 装置 介质 电子设备
【权利要求书】:

1.一种还原炉内硅棒检测方法,其特征在于,包括:

获取还原炉内的硅棒图像;

将所述硅棒图像输入至温度识别模型以得到温度信息;

基于所述硅棒图像,通过形态识别模型得到所述硅棒图像的形态;以及

根据所述硅棒图像的温度信息和形态得到检测结果。

2.根据权利要求1所述的还原炉内硅棒检测方法,其特征在于,还包括:

根据所述温度信息生成所述硅棒图像的四通道图像数据。

3.根据权利要求2所述的还原炉内硅棒检测方法,其特征在于,基于所述硅棒图像,通过形态识别模型得到所述硅棒图像的形态,还包括:

基于所述四通道硅棒图像,通过形态识别模型得到所述四通道硅棒图像的形态。

4.根据权利要求3所述的还原炉内硅棒检测方法,其特征在于,将所述硅棒图像输入至温度识别模型以得到温度信息之前,还包括:

使用待标定的彩色CCD相机生成彩色图像;

通过所述彩色图像的两个基色的颜色值与曝光时间,得到两个基色的辐射强度;

获取不同黑体炉温度下的所述两个基色波长下的辐射强度作为训练样本;以及

根据所述训练样本得到温度识别模型。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的还原炉内硅棒检测方法,其特征在于,基于所述硅棒图像,通过形态识别模型得到所述硅棒图像的形态之前,包括:

获取彩色硅棒图像;

对所述硅棒图像按照形态进行标注;以及

将所述硅棒图像输入到深度学习网络训练,以得到形态识别模型。

6.一种基于上述权利要求1-5中任意一项还原炉内硅棒检测方法的检测系统,其特征在于,包括:配套图像传感器和工控机,其中所述配套图像传感器与工控机电连接。

7.根据权利要求6所述的还原炉内硅棒检测系统,其特征在于,所述配套图像传感器还包括:CCD相机和镜杆,所述镜杆贴紧观测孔的玻璃,并将辐射光传导至所述CCD相机的传感器上,以生成彩色图像。

8.一种还原炉内硅棒检测装置,其特征在于,包括:

图像获取模块,用于获取还原炉内的硅棒图像;

温度识别模块,用于将所述硅棒图像输入至温度识别模型以得到温度信息和所述硅棒图像的图像数据;

形态识别模块,用于基于所述硅棒图像,通过形态识别模型得到所述硅棒图像的形态;和

检测模块,用于根据所述硅棒图像的温度信息和形态得到检测结果。

9.一种电子设备,其特征在于,包括:

处理器;以及

存储器,用于存储所述处理器的可执行指令;

其中,所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求1~5中任意一项所述还原炉内硅棒检测方法。

10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1~5中任意一项所述的还原炉内硅棒检测方法。

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