[发明专利]一种晶圆分选除静电方法

权利要求书

1.一种晶圆分选除静电方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将装载有晶圆的晶圆盒(206)固定在两个升降块(205)之间，然由电机二(402)驱动转动块(403)顺时针转动，转动块(403)带动转动杆(404)转动，此时弹簧(406)伸长，转动杆(404)在转动块(403)内活动，转动杆(404)通过连接头(405)带动活动块(304)移动，活动块(304)带动平移杆(305)向除静电机构(5)方向移动，同时活动块(304)带动支撑杆(306)移动，从而使推料杆(308)将晶圆盒(206)内的最下端的晶圆片推至接料盘(606)上；当连接头(405)开始向下方转动时，连接头(405)带动活动块(304)在平移杆(305)上向下移动，当连接头(405)转动一周并回到初始位置时，活动块(304)先下后上往返活动一次，同时平移杆(305)带动滑套(303)也往返活动一次，使推料杆(308)返回初始位置；

S2：当晶圆片推至接料盘(606)上后，由气缸一(602)驱动升降板(603)上移，或者由电机四(607)驱动丝杆二(608)转动，丝杆二(608)驱动升降板(603)上移，升降板(603)带动电机三(604)、转轴(605)、接料盘(606)上移，从而将晶圆片送至除静电箱(501)中；

S3：电机三(604)驱动接料盘(606)转动，由静电箱(501)内设置的离子风枪(502)和喷嘴(503)对晶圆片进行除静电，除静电的同时后由真空泵(504)进行抽气，然后升降板(603)下移，使接料盘(606)位于料架(706)下方，晶圆片落在料架(706)上，然后气缸二(705)收缩，再由电机五(703)驱动转台(704)转动，转台(704)带动气缸二(705)转动，从而将晶圆片送至分选机(701)内进行检测；

S4：若检测不合格，将晶圆片重新送至接料机构(6)上方，然后重新进行除静电，若检测合格，则将晶圆片送至下一个工序，由电机一(203)驱动丝杆一(204)转动，丝杆一(204)驱动升降块(205)下降，升降块(205)带动晶圆盒(206)下降一段距离，重复S1-S3步骤，对下一个晶圆进行除静电。

2.根据权利要求1所述的晶圆分选除静电方法，其特征在于,S4步骤中检测合格后则将晶圆片装入一新的晶圆盒中。

3.根据权利要求2所述的晶圆分选除静电方法，其特征在于,晶圆盒(206)内的所有晶圆均除静电处理完成后，将晶圆盒翻转后重复S1-S4步骤以对晶圆的另一面进行除静电处理。

4.根据权利要求1所述的晶圆分选除静电方法，其特征在于,所述除静电箱(501)一侧连接有用于抽气的真空泵(504)。

5.根据权利要求4所述的晶圆分选除静电方法，其特征在于,所述除静电箱(501)为方形或者圆形，所述真空泵(504)的抽气口分布于所述除静电箱(501)的侧壁上，且抽气口的设置高度低于晶圆片在除静电时的高度。

6.根据权利要求1所述的晶圆分选除静电方法，其特征在于,所述推料杆(308)、转动块(403)、接料盘(606)等与晶圆接触的表面由特氟龙材料制成。

7.根据权利要求1所述的晶圆分选除静电方法，其特征在于,所述离子风枪(502)和喷嘴(503)对准晶圆片的中心。

8.根据权利要求1所述的晶圆分选除静电方法，其特征在于,将晶圆片送至下一个工序后，接料盘(606)承接下一个晶圆片前，先将接料盘(606)上升送入到除静电箱(501)中进行除静电。