[发明专利]一种激光直写的数据处理方法及系统在审

专利信息
申请号: 202111111935.3 申请日: 2021-09-23
公开(公告)号: CN113835306A 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 丁军岗 申请(专利权)人: 丁军岗
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;H04W4/80
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 数据处理 方法 系统
【说明书】:

发明公开了一种激光直写的数据处理系统,包括主机、从机与数据处理模块,所述数据处理模块由数字光处理芯片、数据传输模块、控制模块、运算模块、存储控制模块及存储模块构成,所述数字光处理芯片组包括数字光处理芯片、程序存储芯片和图像传输芯片,所述数据传输模块用于接收主机发送的信号,并传输给运算模块,所述存储控制模块用于控制运算模块输出的信号输入存储模块;通过将激光直写的数据分块,然后进行相关数据阵列,多个数据位置对应放入,并进行存储报头数据块,因此以压缩的形式存储这种纹理数据以减小存储和带宽负担,使得数据处理更加快捷,且能够准确进行存储,从而使激光直写进行更加顺畅。

技术领域

本发明属于激光直写技术领域,具体涉及一种激光直写的数据处理方法及系统。

背景技术

激光直写光刻技术无需中间掩膜曝光环节,直接在基片上绘制出所需图案,与传统掩膜版曝光光刻每改变一次图形就需要重新制作掩膜版相比,大大方便了科研人员,降低了生成制作成本。

但是在方便用户的同时也增加了自身系统的复杂程度,典型激光直写系统包含有光学成像、运动控制、曝光计量控制、套刻对准、数据处理等子系统。一方面,针对不同的客户机型系统的硬件选型又存在差异,因此对于上位软件来讲需要适配不同的硬件类型,这给软件编写与后期的维护带来了一定的复杂性;

现有的激光直写系统及方法,运行起来对网络的载荷要求比较大,耗损高,且操作比较繁杂,不能有效提供数据处理的问题,为此我们提出一种激光直写的数据处理方法及系统。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光直写的数据处理方法及系统,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种激光直写的数据处理系统,包括主机、从机与数据处理模块,所述数据处理模块由数字光处理芯片、数据传输模块、控制模块、运算模块、存储控制模块及存储模块构成,所述数字光处理芯片组包括数字光处理芯片、程序存储芯片和图像传输芯片,所述数据传输模块用于接收主机发送的信号,并传输给运算模块,所述存储控制模块用于控制运算模块输出的信号输入存储模块。

优选的,所述主机上部署有用户主程序、套刻对准模块、运动控制模块、曝光计量控制模块及图形发生模块。

优选的,所述主机与从机通过局域网络进行通信连接。

优选的,所述用户主程序分别与套刻对准模块、运动控制模块、曝光计量控制模块及图形发生模块通信连接。

优选的,所述数据存储单元是双倍速率同步动态随机存储器。

优选的,所述用户主程序通过接口函数实现与套刻对准模块、运动控制模块、曝光计量控制模块及图形发生模块的功能调用。

优选的,所述用户主程序,用于根据加工任务文件处理得到加工启动指令,并将加工启动指令发送至图形发生控制模块。

优选的,所述数据传输模块与运算模块均安装在从机上。

优选的,所述存储控制模块将数据阵列分割成多个块,各个块包括数据阵列的多个数据位置,并且表示数据阵列的子块的数据被存储在存储模块,并且针对数据阵列所分割成的各个相应块,存储报头数据块,报头数据块包含与数据阵列、报头数据块所涉及的块的子块有关的数据。

一种激光直写的数据处理方法,包括如下步骤:

S1、在主机上通过用户主程序控制套刻对准模块、运动控制模块、曝光计量控制模块及图形发生模块,进行指令下达,并且进行相关的激光直写动作,生成数据;

S2、从机通过局域网络进行通信接收数据指令,数据传输模块接收到主机发送的信号,并传输给运算模块,经过运算后,存储控制模块将数据阵列分割成多个块,并且针对数据阵列所分割成的各个相应块,存储报头数据块;

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