[发明专利]一种磁悬浮式光刻机掩模台

权利要求书

1.一种磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于，包括：

基座，所述基座上表面固设有驱动机构和一对磁悬浮导轨，所述磁悬浮导轨为长条状，且两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨的一侧设有导轨凹槽；

微动台，所述微动台上设有安装位，所述微动台的上表面设有四个上电磁铁，所述上电磁铁以矩形分布，所述微动台的下表面设有四个下电磁铁，所述下电磁铁位于所述上电磁铁正下方且与所述上电磁铁的位置一一对应，所述微动台通过四个所述上电磁铁和四个所述下电磁铁悬浮于两条磁悬浮导轨之间，且所述上电磁铁和所述下电磁铁都位于所述导轨凹槽内，所述驱动机构驱动微动台运动；

掩模版，所述掩模版安装于所述安装位；以及

控制电路，所述控制电路用于控制每个上电磁铁和每个下电磁铁的磁力大小，改变上电磁铁和下电磁铁之间的差动磁悬浮力，用于控制微动台沿Z、Rx、Ry三个自由度位姿调整。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述驱动机构包括运动控制装置，所述运动控制装置包括第一直线电机，第二直线电机和第三直线电机，所述第三直线电机位于所述第一直线电机和所述第二直线电机之间，所述第一直线电机和所述第二直线电机驱动所述微动台沿y轴运动，所述第三直线电机驱动所述微动台沿x轴运动。

3.根据权利要求2所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述第一直线电机的行程、所述第二直线电机的行程和所述第三直线电机的行程为正负1－3mm。

4.根据权利要求2所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述驱动机构还包括宏动直线电机和宏动台，所述宏动直线电机的定子固定于基座上，所述宏动直线电机的动子与宏动台相固定，运动控制装置固定于宏动台，所述宏动直线电机驱动所述宏动台沿y轴运动。

5.根据权利要求4所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述宏动直线电机的行程为正负5－10mm。

6.根据权利要求1所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述安装位上设有用于吸附掩模版的真空吸盘，所述微动台内设有通气管道，所述通气管道与所述真空吸盘连通，所述通气管道内的气压为负0.04-0.08MPa。

7.根据权利要求6所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述真空吸盘包括凸块和通气孔，所述凸块位于所述微动台上表面，所述凸块上凹设有凹槽，所述通气孔位于所述凹槽底面，所述通气孔与所述通气管道相连通。

8.根据权利要求7所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述通气孔的直径为1-3mm，所述凸块为长条状，所述凸块长50-54mm，宽4-6mm，高12-17mm。

9.根据权利要求6所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述真空吸盘为四个，四个真空吸盘呈矩形分布，且每个真空吸盘位于掩模版的边角处。

10.根据权利要求9所述的磁悬浮式光刻机掩模台，其特征在于：所述通气管道包括四条第一气路、两条第二气路和一条第三气路，每条第一气路与一个真空吸盘相连通，其中两条第一气路通过一条第二气路相连通，另外两条第一气路通过另一条第二气路相连通，两条第二气路通过所述第三气路相连通，所述微动台上设有抽气口，其中一条第一气路与所述抽气口相连通。