[发明专利]一种可改变电容容量的真空电容

说明书

本发明涉及电子技术领域，公开了一种可改变电容容量的真空电容，包括有绝缘杆、上壳体、下壳体、固定电极、可动电极、磁体、绝缘外壳、音圈马达线圈、弹簧和动电极连接片，绝缘杆的顶端连接有上壳体，且绝缘杆的底端安装有下壳体。本发明中，通过音圈马达线圈通电，则使音圈马达线圈在电流作用下产生驱动力磁场，从而使磁体产生一个感应电动势，在感应电动势的作用下，由于音圈马达线圈电流大小不一样，从而使可动电极做垂直于音圈马达线圈电流方向的运动，从而来改变可动电极与固定电极之间的相对面积，便于快速改变电容容量，通过这样的设置，相比较现有的可变真空电容具有调节速度快(50‑500ms)、位置精确度高的优点。

技术领域

本发明涉及电子技术领域，具体为一种可改变电容容量的真空电容。

背景技术

真空电容器就是以真空作为介质的电容器，真空电容器与其他介质的电容器相比，具有耐压高、体积小、损耗低、性能稳定可靠等特点，可变真空电容在射频源匹配器中为关键零部件，在半导体蚀刻机、镀膜等离子体等工业机台设备、医疗磁共振及广播无线电台发射上应用广泛。

现有的可改变电容容量的真空电容，在调节电容容值时，是通过在外壳绝缘体两端加测试仪器电桥，同时调节螺杆螺丝带动动电极的作动，通过压缩拉伸波纹管的作动来改变电极之间的相对面积，从而改变电容容量，操作不方便，并且调节时间长，严重影响了半导体芯片的生产效率，并且在长期使用中，螺杆螺纹由于长期频繁的转动会造成螺杆螺纹的间隙变大，导致电容容值调整不精准，同时波纹管在持续的拉伸和压缩下容易产生弹性疲劳，会使波纹管产生裂痕真空泄漏，导致绝缘度降低，严重影响了真空电容的使用寿命和使用成本。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种可改变电容容量的真空电容，具有较快的阻抗匹配速度、毫秒级的作动时间，并且使用寿命长、真空度密封性长期稳定、体积小，而且真空电容调节容值速度快、精确度高，对半导体芯片生产效率及产品良率有大幅度提升，解决了背景技术提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种可改变电容容量的真空电容，包括有绝缘杆，所述绝缘杆的顶端连接有上壳体，且绝缘杆的底端安装有下壳体，所述下壳体的顶端连接有固定电极；

所述固定电极的顶部设置有可动电极，所述可动电极的外壁连接有磁体；

所述上壳体与下壳体之间通过绝缘外壳连接，且绝缘外壳的外壁设置有音圈马达线圈；

所述绝缘杆的顶部外壁套设有弹簧，且弹簧在上壳体的底部安装；

所述弹簧的底端连接有动电极连接片，且动电极连接片的底端与可动电极相连接。

优选的，所述固定电极的底端与下壳体为固定连接，且固定电极的中轴线与下壳体的中轴线相重合。

优选的，所述绝缘杆在上壳体与下壳体轴心处固定安装，且上壳体、下壳体与绝缘外壳在固定电极、可动电极的外部组成真空室。

优选的，所述固定电极、可动电极的活动范围为绝缘外壳与上壳体、下壳体组成的真空室。

优选的，所述动电极连接片通过弹簧与上壳体之间构成弹性结构，且弹簧的中轴线与绝缘杆的中轴线相重合。

优选的，所述音圈马达线圈在绝缘外壳的外壁缠绕连接。

优选的，所述动电极连接片的外侧壁与上壳体的内壁为贴合连接，且动电极连接片关于绝缘杆的轴心环形等距设置有三组。

优选的，所述可动电极在固定电极的顶部间隔均布，且可动电极的最外圈连接有磁体。