[发明专利]一种高Q值微环谐振器

权利要求书

1.一种高Q值微环谐振器，其特征在于，包括：多模微环谐振腔，对称分布的第一单模波导和第二单模波导、第一锥形波导和第二锥形波导、第一欧拉波导和第二欧拉波导；所述第一锥形波导、第二锥形波导、第一欧拉波导和第二欧拉波导为多模波导；

所述第一欧拉波导的曲率沿光路逐渐增大，所述第二欧拉波导的曲率沿光路逐渐减小，所述微环谐振腔的曲率不变；所述第一欧拉波导、第二欧拉波导的截面宽度及两者连接处的曲率与所述多模微环谐振腔的截面宽度和曲率满足基模的模式匹配条件；

入射光从第一单模波导入射，依次经由第一锥形波导、第一欧拉波导，在第一欧拉波导与第二欧拉波导的耦合区域，满足谐振频率的光耦合进入微环谐振腔，不满足谐振频率的光依次经由第二欧拉波导、第二锥形波导，从第二单模波导输出。

2.如权利要求1所述的高Q值微环谐振器，其特征在于，还包括：多模圆弧波导，所述多模圆弧波导位于所述第一欧拉波导和第二欧拉波导之间，且所述第一欧拉波导和第二欧拉波导关于所述多模圆弧波导对称；

所述多模圆弧波导与多模微环谐振腔同圆心；所述多模圆弧波导的截面宽度和曲率与所述微环谐振腔波导的截面宽度和曲率满足基模的模式匹配条件；

入射光从第一单模波导入射，依次经由第一锥形波导、第一欧拉波导进入多模圆弧波导；满足谐振频率的光耦合进入微环谐振腔，不满足谐振频率的光依次经由第二欧拉波导、第二锥形波导，从第二单模波导输出。

3.如权利要求2所述的高Q值微环谐振器，其特征在于，所述多模圆弧波导的截面宽度与所述第一欧拉波导、第二欧拉波导的截面宽度相同。

4.如权利要求1所述的高Q值微环谐振器，其特征在于，所述第一单模波导和第二单模波导的截面宽度相同。

5.如权利要求2所述的高Q值微环谐振器，其特征在于，所述多模微环谐振腔、多模圆弧波导、第一单模波导、第一锥形波导、第一欧拉波导、第二欧拉波导、第二锥形波导和第二单模波导均为条形波导，脊形波导，多层波导中的任一种。

6.如权利要求2所述的高Q值微环谐振器，其特征在于，所述多模微环谐振腔、多模圆弧波导、第一单模波导、第一锥形波导、第一欧拉波导、第二欧拉波导、第二锥形波导和第二单模波导均采用绝缘体上硅、铌酸锂、氮化硅、磷化铟或砷化镓中的任一种制成。

7.一种带通滤波器，其特征在于，所述带通滤波器采用如权利要求1-6任一项所述的高Q值微环谐振器。

8.一种带阻滤波器，其特征在于，所述带阻滤波器采用如权利要求1-6任一项所述的高Q值微环谐振器。