[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机在审
| 申请号： | 202111097371.2 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113930719A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘同林;陈五一 | 申请（专利权）人： | 铜陵市超越电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 曹雪娇 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市狮子山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电容器 金属化 薄膜 加工 真空镀膜 | ||
1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括设置于镀膜(9)下部的屏蔽装置(1)和设置于屏蔽装置(1)下部的蒸发源(2)；其特征在于：
所述屏蔽装置(1)包括至少一个屏蔽板(11)；所述屏蔽板(11)和镀膜(9)平行设置；至少一个所述屏蔽板(11)一一对应镀膜(9)不需要蒸镀的位置；所述屏蔽板(11)和镀膜(9)接触的一面设置有若干使屏蔽版(11)和镀膜(9)滚动接触的接触辊(111)。
2.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述屏蔽板(11)和镀膜(9)接触的一面设置有凹槽(112)；所述凹槽(112)内设置有横板(1121)；所述横板(1121)和凹槽(112)的槽底之间设置有用于带动横板(1121)升降的气缸(1122)；所述接触辊(111)转动设置于凹槽(112)内，且位于横板(1121)上部；沿镀膜(9)的运动方向，第一个所述接触辊(111)上设置有压力传感器。
3.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述屏蔽板(11)的边部设置有柔性屏蔽条(113)；所述柔性屏蔽条(113)的高度等于或略大于接触辊(111)的高度。
4.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述屏蔽装置(1)还包括两个相对设置的柱体(12)；所述屏蔽板(11)的两端分别滑动设置在两个柱体(12)上。
5.根据权利要求4所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述柱体(12)上设置有刻度(121)。
6.根据权利要求4所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述柱体(12)和屏蔽板(11)之间设置有定位螺钉(122)。
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