[发明专利]一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置

权利要求书

1.一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，包括转盘(2)、调节柱(3)、安装座(4)与夹持机构，其特征在于：所述转盘(2)内设有用于调节调节柱(3)位置的驱动机构，且调节柱(3)内设有液压装置，所述液压装置的伸缩端贯穿调节柱(3)并与安装座(4)连接，所述夹持机构包括两个固定座(6)、左右两个连接座(5)、驱动座(7)与连接机构，左右所述连接座(5)均通过轴承与相接近的安装座(4)连接，左右所述连接座(5)通过连接机构与两个固定座(6)、驱动座(7)连接，且固定座(6)、连接座(5)与驱动座(7)中均螺接有螺杆，所述螺杆的一端通过轴承与限位垫(19)连接，所述连接座(5)与驱动座(7)内均开设有能够容纳硅片(10)的凹槽(20)，且驱动座(7)内设有橡胶驱动辊(22)与电机一(21)，所述橡胶驱动辊(22)的驱动轴与电机一(21)的输出轴通过皮带连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于：所述连接机构包括弧形架(8)与弧形套体(9)，且弧形套体(9)内开设有能够容纳弧形架(8)滑动的活动槽一，所述弧形架(8)上设有凸块(11)，且弧形套体(9)内开设有能够容纳凸块(11)的限位槽(12)。

3.根据权利要求1所述的一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于：所述驱动机构包括电机二(23)与丝杆(18)，所述电机二(23)的输出轴与丝杆(18)的一端连接，所述丝杆(18)的另一端通过轴承与转盘(2)内壁连接，所述转盘(2)上开设有能够容纳调节柱(3)活动的活动槽二，且调节柱(3)底部穿过活动槽二螺接在丝杆(18)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于：所述转盘(2)底部设有底座(1)，且底座(1)内设有电机三(14)与转动柱(17)，所述转动柱(17)的一端与转盘(2)连接，且转动柱(17)的另一端通过轴承与底座(1)内壁连接，所述转动柱(17)外壁上设有从动齿盘(16)，且电机三(14)的输出轴与主动齿盘(15)连接，所述主动齿盘(15)与从动齿盘(16)啮合。

5.根据权利要求1所述的一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于：所述限位垫(19)为海绵限位垫，所述螺杆的另一端与调节盘(13)连接。

6.根据权利要求2所述的一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于：所述弧形架(8)内开设有能够容纳弹簧与凸块(11)的活动槽三，所述弹簧的两端分别与凸块(11)连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于：所述凹槽(20)内壁上设有海绵保护垫。

8.根据权利要求1所述的一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，其特征在于：所述橡胶驱动辊(22)的外壁上设有润滑层。