[发明专利]一种MEMS传感器校准装置

权利要求书

1.一种MEMS传感器校准装置，其特征在于，包括校准室(1)，所述校准室(1)的内部底端固定连接有校准台(2)，所述校准台(2)的底端中部固定连接有压力传感器(3)，所述校准室(1)的内部上方一侧设置有冷暖风机(4)，所述校准室(1)的内部顶端中部设置有测温计(6)，所述测温计(6)的两侧均设置有固定块(7)，所述固定块(7)的上端均固定连接于校准室(1)的内部顶端，所述测温计(6)固定连接于两个固定块(7)之间，所述测温计(6)远离冷暖风机(4)的一侧设置有开关机构(8)，所述开关机构(8)包括气球(84)，所述气球(84)的一侧接触有推杆(86)，所述推杆(86)的外部设置有C型板(85)，所述C型板(85)固定连接于校准室(1)的内部顶壁，所述推杆(86)远离气球(84)的一侧上端固定连接有移动杆(81)，所述移动杆(81)滑动贯穿于C型板(85)上部，所述移动杆(81)位于C型板(85)外部的一端固定连接有按块(89)，所述按块(89)远离移动杆(81)的一侧设置有开关(87)，所述开关(87)与冷暖风机(4)电性连接，所述校准室(1)靠近冷暖风机(4)的一侧外壁安装有压力数据显示器(14)。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器校准装置，其特征在于：所述冷暖风机(4)的一侧设置有调节机构(5)，所述调节机构(5)包括固定杆(51)，所述固定杆(51)固定连接于校准室(1)的内壁，所述固定杆(51)的内部设置有丝杆(53)，所述丝杆(53)上螺纹连接有滑块(52)，所述固定杆(51)相对冷暖风机(4)的一侧为开口结构，所述滑块(52)滑动连接于固定杆(51)的内部两侧之间，所述丝杆(53)的上端转动连接于固定杆(51)的上端内壁，所述丝杆(53)的下端贯穿固定杆(51)且固定连接有第一握把(54)，所述滑块(52)位于固定杆(51)外部的一端通过铰接座转动连接有第一连接杆(55)，所述第一连接杆(55)远离滑块(52)的一端与冷暖风机(4)转动连接，所述冷暖风机(4)的上端通过铰接座转动连接有第二连接杆(56)，所述第二连接杆(56)的上端转动连接于校准室(1)的内部顶壁，所述冷暖风机(4)的输出端与校准台(2)上端相对。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器校准装置，其特征在于：所述气球(84)远离推杆(86)的一端连接有连接管(82)，所述气球(84)套接在连接管(82)上，所述连接管(82)远离气球(84)的一端插接有气体瓶(83)，所述气体瓶(83)与连接管(82)的插接处粘合有密封圈，所述连接管(82)上连接有支撑套块(9)，所述支撑套块(9)固定连接于校准室(1)的内壁顶端，所述连接管(82)插接在支撑套块(9)中部，所述推杆(86)远离气球(84)的一侧中部固定连接有弹簧(10)，所述弹簧(10)远离推杆(86)的一端固定连接于C型板(85)内侧，所述C型板(85)上下两侧均开设有滑槽(11)，所述推杆(86)两端均滑动连接于滑槽(11)中，所述开关(87)远离按块(89)的一端固定连接有顶杆(88)，所述顶杆(88)上端固定连接于校准室(1)的内部顶壁。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS传感器校准装置，其特征在于：所述校准台(2)的上方两侧均设置有限位机构(12)，所述限位机构(12)均包括限位块(121)，两个所述限位块(121)相互靠近的一侧均粘合有橡胶垫(122)，两个所述限位块(121)相互远离的一侧均固定连接有套管(123)，所述套管(123)内部均螺纹连接有螺杆(124)，所述校准台(2)的上端两侧中部均固定连接有侧块(126)，两个所述螺杆(124)分别贯穿且转动连接于两个侧块(126)中部，两个所述螺杆(124)相互远离的一端均固定连接有第二握把(125)。

5.根据权利要求4所述的一种MEMS传感器校准装置，其特征在于：所述套管(123)的底端中部均固定连接有底杆(127)，所述校准台(2)的上端两侧均开设有底槽(128)，所述底杆(127)的下部均滑动连接于底槽(128)内。