[发明专利]一种环保再利用的电子级四甲基氢氧化铵生产制备工艺在审
| 申请号： | 202111095003.4 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113861035A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 季中伟;马立军;乔正收;李玉芬;刘庆五;张勇;王金城 | 申请（专利权）人： | 镇江润晶高纯化工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C209/00 | 分类号： | C07C209/00;C07C209/86;C07C211/63 |
| 代理公司： | 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 邓凌云 |
| 地址： | 212000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 环保 再利用 电子 甲基 氢氧化铵 生产 制备 工艺 | ||
1.一种环保再利用的电子级四甲基氢氧化铵生产制备工艺，其特征在于，依次包括如下步骤：
(1)废料预处理步骤：首先将废液加入沉淀池内部将废料中的大颗粒杂质和金属颗粒物质等进行沉淀，并且通过过滤系统进行粗滤，过滤完成之后等待备用；
(2)交换材料预处理步骤：将交换材料加入至清洗池内部进行加热，之后反复的浸洗和冲洗，直至清洗至浸洗液清澈，泡沫量少为止，然后将清洗完成的交换材料加入至酸池内洗涤，之后加入至碱池清洗，碱池清洗完成后再次加入至酸池内进行清洗，并且清洗完成后通过超纯水将表面的酸碱残留物进行冲洗，等待备用；
(3)交换材料转型处理步骤：将步骤(2)中的清洗完成的交换材料通过吸附步骤(1)的废液中四甲基铵离子进行吸附，使得交换材料成为四甲基铵型；
(4)废料交换除杂处理步骤：将步骤(3)中的吸附完成的交换材料使用超纯水进行表面的冲洗，去除光刻胶和沉淀物等杂质；
(5)杂质吸附处理步骤：通过超滤材料将步骤(4)中冲洗的沉淀物进行过滤处理，防止直接排除污水对环境造成污染和伤害；
(6)硫酸四甲基铵溶液处理步骤：将步骤(4)中吸附完成的交换材料通过硫酸进行洗脱出得到硫酸四甲基铵溶液；
(7)硫酸四甲基铵溶液分解处理步骤：将步骤(6)中的硫酸四甲基铵溶液加入不活泼金属，并且进行加热产生二氧化硫、硫酸盐沉淀物和四甲基氢氧化铵溶液；
(8)四甲基铵溶液过滤处理步骤：将步骤(7)中的反应物进行过滤，得到四甲基氢氧化铵粗产物，之后再次使用交换材料进行浓缩净化处理，最终得到纯净的成品。
2.根据权利要求1所述的一种环保再利用的电子级四甲基氢氧化铵生产制备工艺，其特征在于：所述步骤(2)中的交换材料采用阳离子交换树脂。
3.根据权利要求1所述的一种环保再利用的电子级四甲基氢氧化铵生产制备工艺，其特征在于：所述步骤(2)中的清洗酸采用盐酸、磷酸和甲磺酸，且清洗碱采用氢氧化钠溶液，并且加热温度为50～60℃。
4.根据权利要求1所述的一种环保再利用的电子级四甲基氢氧化铵生产制备工艺，其特征在于：所述步骤(5)中的超滤设备采用YHMBR-1。
5.根据权利要求1所述的一种环保再利用的电子级四甲基氢氧化铵生产制备工艺，其特征在于：所述步骤(7)中采用的不活泼金属为Cu或者Ag，且加热温度为40～60℃。
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