[发明专利]一种透过率和反射率测量仪及其测量方法

权利要求书

1.一种透过率和反射率测量仪，其特征在于：包括激光光源(1)、起偏器(2)、分光镜(3)、旋转单元、第一探测器(5)、第二探测器(10)和信号单元；

所述起偏器(2)和分光镜(3)依次设置在激光光源(1)的出射光路上；

所述第一探测器(5)位于分光镜(3)的反射光路上，衰减轮盘(4)位于分光镜(3)和第一探测器(5)之间，其包括可旋转的轮盘(41)和设置在轮盘(41)上的多个衰减片(42)，各个衰减片(42)的衰减率不相同，每个衰减片(42)均能够旋转至分光镜(3)的反射光路上；

所述旋转单元包括定距转轴(6)、二维扫描机构(7)和环形滑轨(9)；定距转轴(6)位于分光镜(3)的透射光路上，且定距转轴(6)的轴线与分光镜(3)的透射光轴垂直相交；二维扫描机构(7)设置在定距转轴(6)上，且能够绕定距转轴(6)旋转；二维扫描机构(7)用于安装被测光学元件(8)，且定距转轴(6)的轴线过被测光学元件(8)的迎光面；环形滑轨(9)与定距转轴(6)同轴并设置在定距转轴(6)的外侧；

所述第二探测器(10)能够在环形滑轨(9)上移动；

所述信号单元包括信号发生器(11)和信号采集处理系统(12)，信号发生器(11)用于控制第一探测器(5)和第二探测器(10)同步采集光信号，信号采集处理系统(12)用于采集第一探测器(5)和第二探测器(10)的光信号，获取被测光学元件(8)的透过率或反射率。

2.根据权利要求1所述透过率和反射率测量仪，其特征在于：还包括位于分光镜(3)和定距转轴(6)之间的0°反射附件(14)，所述第二探测器(10)移至0°反射附件(14)的后反射光路上，用于实现被测光学元件(8)小角度时的反射率测量。

3.根据权利要求2所述透过率和反射率测量仪，其特征在于：所述0°反射附件(14)为分光棱镜。

4.根据权利要求1至3任一所述透过率和反射率测量仪，其特征在于：还包括设置在激光光源(1)、起偏器(2)、分光镜(3)、旋转单元、第一探测器(5)、第二探测器(10)外侧的仪器罩(13)。

5.采用权利要求1所述透过率和反射率测量仪的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)安装

将被测光学元件(8)安装在二维扫描机构(7)上，且被测光学元件(8)的迎光面位于分光镜(3)的透射光路上，并调整二维扫描机构(7)使被测光学元件(8)迎光面与分光镜(3)之间的角度处于工作角度；

2)调节第二探测器(10)位置

当进行透射率测量时，沿环形滑轨(9)滑动第二探测器(10)，使其接收经被测光学元件(8)后的透射光；

当进行反射率测量时，沿环形滑轨(9)滑动第二探测器(10)，使其接收经被测光学元件(8)后的反射光；

3)测量

信号发生器(11)产生同步信号控制第一探测器(5)和第二探测器(10)同步采集光信号，信号采集处理系统(12)采集第一探测器(5)和第二探测器(10)的光信号，处理后获取被测光学元件(8)的透过率或反射率。

6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于：步骤2)中，当进行反射率测量，且反射角≤5°时，在分光镜(3)和定距转轴(6)之间插入一个0°反射附件(14)，并将第二探测器(10)移至0°反射附件(14)的后反射光路上；

分光镜(3)透射的光束经0°反射附件(14)透射后入射至被测光学元件(8)的迎光面，被测光学元件(8)反射回的光束经0°反射附件(14)反射后，被第二探测器(10)接收。

7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于：

步骤1)中，若被测光学元件(8)的口径大于测试光束口径时，将被测光学元件(8)分为多个子孔径，通过二维扫描机构(7)分别使多个子孔径处于测试光束的透射光路上；

通过步骤2)和步骤3)的方法逐个对子孔径测量，获得各个子孔径的透过率或反射率，对所有子孔径的透过率、反射率分别求平均值，获得被测光学元件(8)的透过率或反射率。