[发明专利]用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法及温度测量装置在审

专利信息
申请号: 202111093219.7 申请日: 2021-09-17
公开(公告)号: CN113899221A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 曾裕民;万喜新;周益华;王学仕 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: F27D21/00 分类号: F27D21/00;F27D19/00
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 戴玲
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 用于 立式 氧化 恒温 温度 测量方法 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种用于立式氧化炉恒温区的温度测量方法,其特征在于,在氧化炉(1)的底部预留热偶穿孔,所述温度测量方法包括以下步骤:

S1、将热偶(2)从氧化炉(1)底部的热偶穿孔伸入炉内,并竖向向上移动使热偶(2)的顶部靠近炉顶,且热偶(2)的底部位于炉外;

S2、将氧化炉(1)下方的升降机构(3)上的热偶座(4)上升至上端极限位置,再将热偶(2)的底部安装在热偶座(4)上;

S3、升降机构(3)带着热偶座(4)从上端极限位置匀速移动至下端极限位置,与此同时,控制器实时采集热偶(2)的测量值,获得炉内竖向方向的温度曲线。

2.一种用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,包括支架(5)、升降机构(3)、热偶座(4)和热偶(2),所述升降机构(3)安装在支架(5)上,所述热偶座(4)设于升降机构(3)上,所述热偶(2)竖向设置且底部可拆卸的安装在热偶座(4)上,所述氧化炉(1)的底部设有可供热偶(2)穿过的热偶穿孔。

3.根据权利要求2所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述升降机构(3)包括伺服电机(31)、主链轮(32)、从链轮(33)、链条(34)和滑块(35),所述伺服电机(31)安装在支架(5)底部,所述主链轮(32)与伺服电机(31)的输出轴连接,所述从链轮(33)设于支架(5)的上端,所述链条(34)绕设在主链轮(32)和从链轮(33)上,所述滑块(35)与链条(34)连接,所述热偶座(4)与滑块(35)连接。

4.根据权利要求3所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述热偶座(4)通过热偶接引管(41)与滑块(35)连接,所述热偶接引管(41)水平设置。

5.根据权利要求3所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述支架(5)上设有竖向导轨(36),所述滑块(35)滑设于竖向导轨(36)上。

6.根据权利要求2至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述支架(5)的上端设有上限位开关(61),下端设有下限位开关(62)。

7.根据权利要求2至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述支架(5)上设有调平机构(7),所述调平机构(7)包括调平座(71)、吊杆(72)和对中座(73),所述调平座(71)和对中座(73)均安装在支架(5)上,且对中座(73)设于调平座(71)的下方,所述对中座(73)的上端面设有对中孔(731),所述吊杆(72)上端悬挂在调平座(71)上且下端指向对中孔(731)。

8.根据权利要求3至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述支架(5)上设有刻度(81),所述滑块(35)上设有可指向刻度(81)的指针(82)。

9.根据权利要求2至5任意一项所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述支架(5)的底部设有多个调平支脚(9)。

10.根据权利要求5所述的用于立式氧化炉恒温区的温度测量装置,其特征在于,所述支架(5)包括主板(51)和设于主板(51)两侧的侧板(52),所述主链轮(32)、从链轮(33)、链条(34)、滑块(35)和竖向导轨(36)设于主板(51)与侧板(52)围成的区域内。

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