[发明专利]一种高集成度的硅光芯片在审
申请号: | 202111091354.8 | 申请日: | 2021-09-17 |
公开(公告)号: | CN113805270A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 程进;孙涛;于让尘;潘栋 | 申请(专利权)人: | 希烽光电科技(南京)有限公司 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成度 芯片 | ||
1.一种高集成度的硅光芯片,其特征在于,所述硅光芯片(01)包括硅基衬底(10)、激光输入端(20)、分路器(30)、硅光调制器(40)、调制光信号输出端(50)、调制光信号接收端(60)以及光电二极管接收器(70);
所述激光输入端(20)、所述分路器(30)、所述硅光调制器(40)、所述调制光信号输出端(50)、所述调制光信号接收端(60)以及所述光电二极管接收器(70)集成于所述硅基衬底(10)上;
至少一个激光器(80)发射的激光依次通过所述激光输入端(20)和所述分路器(30),所述激光进入所述硅光调制器(40),所述硅光调制器(40)将调制后的光信号通过所述调制光信号输出端(50)输出,以传输至对端硅光芯片的调制信号接收端,所述调制光信号接收端(60)接收所述对端硅光芯片的调制光信号输出端输出的调制后的光信号,并通过所述调制光信号接收端(60)进入所述光电二极管接收器(70);
所述光电二极管接收器(70)采用硅锗雪崩光电二极管接收器。
2.根据权利要求1所述的硅光芯片,其特征在于,所述分路器(30)的分路数M≥4。
3.根据权利要求2所述的硅光芯片,其特征在于,所述分路器(30)的分路数M≥8。
4.根据权利要求1所述的硅光芯片,其特征在于,所述硅基衬底(10)包括第一硅基衬底(101)和第二硅基衬底(102),所述第一硅基衬底(101)与所述第二硅基衬底(102)为一体结构;
所述激光输入端(20)、所述分路器(30)、所述硅光调制器(40)以及所述调制光信号输出端(50)集成于所述第一硅基衬底(101)上,所述调制光信号接收端(60)以及所述光电二极管接收器(70)集成于所述第二硅基衬底(102)上。
5.根据权利要求1所述的硅光芯片,其特征在于,所述硅基衬底(10)包括第一硅基衬底(101)和第二硅基衬底(102),所述第一硅基衬底(101)与所述第二硅基衬底(102)均为独立部件;
所述激光输入端(20)、所述分路器(30)、所述硅光调制器(40)以及所述调制光信号输出端(50)集成于所述第一硅基衬底(101)上,所述调制光信号接收端(60)以及所述光电二极管接收器(70)集成于所述第二硅基衬底(102)上。
6.根据权利要求1所述的硅光芯片,其特征在于,所述激光器(80)包括第一激光器(801),所述光路包括第一光路,所述第一激光器(801)发射的直流激光依次通过所述激光输入端(20)和所述分路器(30)得到所述第一光路,所述第一光路的数量大于或者等于所述预设光路数量;
所述光电二极管接收器(70)包括第一光电二极管接收器(701),其中,所述分路器(30)的损耗值符合所述第一光电二极管接收器(701)的增益范围,其中,所述第一光电二极管接收器(701)采用雪崩光电二极管接收器。
7.根据权利要求1所述的硅光芯片,其特征在于,所述激光器(80)包括第一激光器(801)和第二激光器(802),所述光路包括第一光路和第二光路,其中,所述第一激光器(801)发射的激光依次通过所述激光输入端(20)和所述分路器(30)得到所述第一光路,所述第二激光器(802)发射的激光通过所述激光输入端(20)得到所述第二光路,所述第一光路与所述第二光路的总数量等于所述预设光路数量;
所述光电二极管接收器(70)包括第一光电二极管接收器(701)和第二光电二极管接收器(702),所述第一光电二极管接收器(701)用于接收所述第一光路对应的调制后的光信号,所述第二光电二极管接收器(702)用于接收所述第二光路对应的调制后的光信号,其中,所述分路器(30)的损耗值符合所述第一光电二极管接收器(701)的增益范围,所述第一光电二极管接收器(701)的增益值大于所述第二光电二极管接收器(702)的增益值,其中,所述第一光电二极管接收器(701)采用雪崩光电二极管接收器,所述第二光电二极管接收器(702)采用PIN光电二极管接收器。
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